ニュース＆イベント

スパッタリング（Sputtering）装置では、クリーンで安定した真空環境を維持することが、薄膜の品質と装置性能を安定させるために重要です。特に、水蒸気や不要なガス成分が残留すると、真空状態や成膜プロセスに影響を与える可能性があります。 そこで、ULVACは高性能な真空システム向けに CRYO-T8SFA-EA Cryo Super Trap（クライオスーパー・トラップ） を提供しています。 CRYO-T8SFA-EAは ENTRON-EXX と統合でき、自動再生に対応しています。また、Inverter技術によってエネルギー消費の最適化をサポートします。...

**真空蒸着（Vacuum Evaporation）は、ウェハーや各種基板の表面に薄膜を形成するための物理蒸着法（PVD：Physical Vapor Deposition）**の一つです。 真空環境下で蒸着材料を加熱して蒸発させ、発生した原子や分子を基板表面に堆積させることで、薄膜を形成します。 膜厚や薄膜特性を精密に制御できることから、真空蒸着は半導体製造、電子部品、ディスプレイ、光学コーティングなど、さまざまな分野で使用されています。 1. 真空蒸着の仕組み   真空蒸着の基本的なプロセスは、以下の流れで行われます。...

油回転真空ポンプを使用する真空システムでは、オイルミストフィルターがオイルミストを捕集し、作業環境へのオイルの排出を抑える重要な役割を果たしています。 しかし、オイルミストフィルターが目詰まりした状態で運転を続けると、排気側の圧力が上昇し、フィルターの破損や破裂につながる可能性があります。 1. なぜ真空ポンプのオイルミストフィルターが破裂するのか？ 真空ポンプオイルの汚れや劣化は、オイルミストフィルターが目詰まりする主な原因の一つです。 プを長時間運転すると、ポンプオイルが劣化し、スラッジや堆積物が発生することがあります。これらがフィルター内部に蓄積すると、フィルターが徐々に汚れ、排気抵抗が増加します。 フィルターが著しく目詰まりすると、排気ガスがスムーズに通過できなくなり、排気側の圧力が上昇します。 オイルが汚れる → 堆積物が蓄積...

ドライ真空ポンプ（Dry Vacuum Pump）は、クリーンで安定した真空環境を求められる多くの工業用生産ラインにおいて「心臓部」として重要な役割を担っています。特に、ドライポンプはポンプ室内に潤滑油を使用しない構造となっています。 しかし、それは「メンテナンスフリー」を意味するものではありません。長期間稼働させ続けることで、内部部品は確実に摩耗し、使用過程においてスラッジや異物が蓄積していきます。 そのため、適切なタイミングでドライ真空ポンプのオーバーホール（分解整備）を実施することが、性能維持と予期せぬトラブル防止の鍵となります。 1. なぜドライ真空ポンプに定期的なオーバーホールが必要なのか？ ドライ真空ポンプは、過酷な産業環境下で継続的に稼働することが多く、長期間にわたり高負荷にさらされます。 稼働中には、微細な粉塵やゴミがシステム内に侵入することがあります。また、特定のプロセスガスによって副生成物が発生する場合もあり、これらが蓄積することでポンプ内部の状態に悪影響を及ぼします。 さらに、運動部品は時間の経過とともに摩耗し、メカニカルクリアランスが変化するため、ポンプの排気性能も徐々に低下していきます。...

産業用の真空システムでは、PLC（Programmable Logic Controller：プログラマブルロジックコントローラ）は、真空ポンプの起動・停止、バルブの動作制御、圧力センサーなどからの信号入力に使用されています。 しかし、ここで一つ疑問があります。 PLCの役割は、真空ポンプを「ON/OFF」するだけなのでしょうか？ 実は、自動化された真空装置では、PLCを使用して真空システムの実際の運転状態を監視することもできます。 例えば、真空到達までの時間、圧力変化、異常な運転状態などを監視することが可能です。 その中でも注目したいのが、 圧力値とタイマー（Timer）のロジックを組み合わせ、真空ポンプの固着・異常、または真空システムの大きなリークの可能性を検知する機能です。\  ...

高度なコーティング技術を用いた製造業では、真空システムが非常に重要な役割を担っています。真空システムでわずかなトラブルが発生しただけでも、生産ライン全体の停止や生産計画への影響につながる可能性があります。 先日、ULVAC Vietnamは、大手製造企業のお客様から緊急の技術サポート依頼を受けました。 約12か月間稼働していたULVAC GLD-N280油回転式真空ポンプにトラブルが発生したためです。 ULVAC Vietnamのサービスエンジニアは、すぐにお客様の工場へ訪問し、設備の現場調査と詳細な点検を実施しました。 その結果、トラブルの根本原因を特定し、故障の修復だけでなく、再発防止まで含めた総合的な改善対策を提案・実施しました。 1. トラブル発生状況：設備が発した「異常のサイン」...

真空熱処理炉で「真空引きに時間がかかる」「必要な真空度まで到達しない」「真空ポンプを停止すると圧力がすぐに上昇する」といった問題が発生した場合、多くの現場ではまず真空ポンプの性能を疑います。 しかし、真空システムの中には、サイズが小さいため見落とされやすいにもかかわらず、真空状態を維持するために非常に重要な部品があります。 それがガスケットとOリングです。 ガスケットやOリングの劣化、亀裂、変形、取り付け不良などは、外部から空気が侵入する真空漏れを引き起こし、真空炉の性能や生産効率に大きな影響を与える可能性があります。 1. 真空炉におけるガスケットとOリングの役割 真空炉では、炉内を高い真空状態に保つために、さまざまな部分で確実なシールが必要です。 例えば、以下のような箇所から空気が侵入する可能性があります。 炉扉 フランジ...

Cooling Moduleのリーク検査でよくある5つの問題と解決策 AI Server、Data Center、EV（電気自動車）、高出力電子機器などの普及に伴い、機器内部の熱を効率的に排出し、安定した動作を維持するための**Cooling Module（冷却モジュール）**の重要性が高まっています。 Cooling Moduleは、液体を循環させる流路、溶接部、接続部、シール部など、さまざまな構造で構成されています。そのため、製造工程では製品の気密性を確実に確認し、**漏れ（Leak）**を早期に検出することが重要です。 わずかな漏れであっても、冷却性能の低下や製品品質への影響につながる可能性があります。また、製品出荷後に漏れが発生した場合、設備の停止や修理、保証対応など、大きなコストが発生する可能性もあります。 そのため、**Cooling...

油を使用する真空ポンプシステムでは、真空ポンプオイルの品質は単なる潤滑性能だけでなく、Vacuum Pumpの性能、安定性、耐用年数にも直接影響します。 真空ポンプのメンテナンスにおいて、見落とされがちな問題の一つが「真空ポンプオイルへの水分の混入」です。 水分が徐々に蓄積すると、オイルが乳化し、潤滑性能が低下するだけでなく、真空ポンプ内部の部品に腐食が発生するリスクも高まります。 そのため、近年では真空システムのメンテナンスにおいて、油水分離器（Oil Water Separator）が注目されています。 オイルが劣化してから交換するだけではなく、油をろ過し、水分を分離しながらオイルの品質を維持することで、Vacuum Pumpを保護し、長期的な運用コストの削減にもつなげることができます。 1....

Auto Leak Test Machine：Semiconductor・AI時代に不可欠な重要工程 **AI、Data Center（データセンター）、Semiconductor（半導体）**産業の急速な発展に伴い、高精度・高信頼性の部品に対する需要がますます高まっています。特に、**AI GPUやAI Server（AIサーバー）**の性能向上により、発生する熱量も増加し、より高い冷却性能が求められています。 そのため、**Liquid Cooling（液冷）**は、次世代のデータセンターやAIサーバーにおける重要な冷却ソリューションとなっています。...

テクノロジーが未来に価値をもたらし、人が社会に価値を生み出す **アルバック（ULVAC）**は、未来に向けた先進技術を生み出すことだけを目指しているのではありません。 私たちは、技術を通じて人々や社会に貢献し、より良い未来を創り出すことも大切な使命の一つだと考えています。 アルバック・グループは、これまでの歩みの中で、技術革新と社会・地域への責任を常に両立させてきました。 アルバックの真空技術ソリューションは、世界各国のさまざまな産業の発展を支えています。しかし、企業が目指す価値は、製品や技術的な成果だけにあるものではありません。 地域社会とともに歩み、困難な状況にある人々に寄り添い、支え合いながら、持続可能な社会の実現に貢献することも、企業にとって大切な価値だと考えています。 この精神は、**アルバック・ベトナム（ULVAC VIETNAM）**にも受け継がれ、ベトナムでの事業活動における大切な考え方となっています。 私たちは、真に持続可能な企業とは、技術や事業活動を通じて価値を創造するだけでなく、自らが活動する地域社会に対して責任を持ち、社会とともに成長していく企業であると考えています。 ティエンフォン寺――さまざまな境遇の人々が温かい家を見つける場所...

真空ポンプ（Vacuum Pump）のモーター焼損は、単なるポンプ単体の故障ではありません。産業生産の現場では、真空ポンプが突然停止すると、生産ライン全体の稼働停止につながる可能性があります。その結果、ダウンタイム（Downtime）、生産量の低下、納期遅延、予定外の修理費用など、さまざまな損失が発生します。 特に、真空熱処理、半導体製造、真空コーティング、自動車部品製造、磁石製造、HVACおよび各種産業プロセスで真空ポンプを使用している場合、モーターが焼損した原因を正確に特定することは、同じ故障の再発を防ぐうえで非常に重要です。 真空ポンプのモーター焼損によって発生する損失とは？ 真空ポンプのモーターが焼損した場合、多くの工場ではまず、モーターを交換する、または真空ポンプを修理に出すという対応を取ります。 しかし、実際の損失は真空ポンプの修理費用だけではありません。 1. ダウンタイムによる損失 真空ポンプが生産ラインの重要設備である場合、ポンプ故障（Pump Failure）によって、以下のような問題が発生する可能性があります。...

多くの製造工場では、Vacuum Pump（真空ポンプ） が熱処理、半導体、PVD/CVDコーティング、リチウムイオン電池、食品、医薬品などの製造工程において、真空環境を生成・維持するためにほぼ24時間連続で稼働しています。しかし、適切な運転やメンテナンスが行われていないため、わずか3～5年で真空ポンプの交換やオーバーホールが必要になるケースも少なくありません。 実際には、用途に適した真空ポンプを選定し、適切な運転条件を維持し、定期的なメンテナンスを実施することで、10年以上にわたり安定して使用することが可能です。 これにより、修理・交換コストを削減し、設備停止時間を最小限に抑えることができます。 本記事では、Vacuum Pumpの寿命を延ばすための10のポイントをご紹介します。 1. 用途に適したVacuum Pumpを選定する...

AI（Artificial Intelligence：人工知能）の急速な発展により、サーバーやデータセンターの設計は大きく変化しています。特に、最新世代のGPUはこれまで以上に高い演算性能と消費電力を必要とするため、発生する熱量も大幅に増加しています。 従来は**Air Cooling（空冷）**が最も一般的な冷却方式でした。しかし、AIサーバーの高性能化と高密度化が進むにつれて、空冷だけでは十分な冷却性能を確保することが難しくなっています。 そのため、多くの企業がより効率的な冷却技術である**Liquid Cooling（液冷）**を採用しています。Liquid Coolingは優れた熱伝達性能を実現するだけでなく、消費電力の削減やシステムの安定稼働にも大きく貢献します。その結果、Liquid CoolingはAIサーバーやデータセンターにおける次世代の標準的な冷却ソリューションとして注目されています。 Liquid Coolingとは？...

自動車、EV（電気自動車）、HVAC、Heat Exchanger（熱交換器）、Cold Plate（コールドプレート）、電子部品、半導体などの製造業では、**Auto Leak Test Machine（自動リークテスト装置）**は製品出荷前の気密性を確認するために欠かせない設備です。 近年、**AI（人工知能）**の急速な発展により、液冷システムや冷却モジュールの需要が大幅に増加しており、Leak Testの重要性はますます高まっています。 しかし、設備を長期間使用すると、リークテスト結果のばらつき、検査サイクルの長時間化、不良（NG）率の増加などの問題が発生することがあります。 これらを放置すると、生産効率の低下、品質不良、製造コストの増加につながる可能性があります。...

現代の製造業において、Auto Leak Test Machine（自動リークテスト装置） は、製品出荷前に気密性を確認するための重要な設備です。 近年、AI（人工知能） や データセンター（Data Center） の急速な発展に伴い、Cold...

現代の製造ラインにおいて、Auto Leak Test Machine（自動リークテスト装置） は、出荷前製品の気密性を100%検査するために欠かせない設備です。 近年、AI や データセンター 市場の急速な拡大に伴い、コールドプレート（Cold Plate）...

自動リーク検査装置とロボット・PLCの統合が求められる理由 近年、製造業ではスマートファクトリー化やデジタルトランスフォーメーション（DX）が急速に進んでいます。その中で、リーク検査には高い測定精度だけでなく、生産性、データのトレーサビリティ、そして生産ライン全体とのシームレスな連携が求められています。 そのため、**Auto Leak Test Machine（自動リーク検査装置）**は単独で動作する検査機ではなく、PLC、産業用ロボット、HMI、ビジョンシステム、バーコードリーダー、MES、SCADAなどと連携した自動化システムの中核設備として活用されています。 自動リーク検査装置とは 自動リーク検査装置は、製品の気密性や真空性能を自動で評価する装置です。 主な検査方式は以下のとおりです。 ヘリウムリーク試験（Helium...

産業用真空システムにおいて、Pump Down Timeとは、Vacuum Chamber（真空チャンバー）内の圧力を大気圧から目標真空圧力まで低下させるために必要な時間を指します。 Pump Down Timeが長くなると、生産ラインの待機時間が増え、電力消費が増加し、全体の生産性が低下します。 では、なぜVacuum Chamberの排気速度が遅くなるのでしょうか。また、どのように改善すればよいのでしょうか。 Pump...