ULVAC Vietnam Representative Office
VFRシリーズ ペンデュラム真空バルブ
ULVACの真空バルブは、真空分野における豊富な技術と経験をもとに開発されています。大気圧から超高真空領域まで、さまざまなニーズに対応する幅広い製品ラインアップを提供しています。
特長
- ULVAC独自の差圧作動機構により、VFRシリーズ ペンデュラムバルブは、通常運転時におけるパーティクル発生、バルブの摩耗、振動を最小限に抑えます。
- バルブ本体は、真空装置やポンプから取り外すことなく、容易に分解・取り外しが可能です。
バルブカバーを取り外した後、1本のボルトを選択して取り外すだけでバルブプレートを取り外すことができ、簡単かつ効率的なメンテナンスを実現します。 - ULVAC VFRシリーズのバルブは、真空システム内の任意の位置に設置可能です。
自由な回転方向と360度の柔軟な取り付けにより、さまざまな装置レイアウトに対応します。
用途
- 大型ディスプレイ製造システム
OLED製造システム
主バルブやゲートバルブなどの各種真空システム - バルブカバーは、真空システムやポンプからバルブを取り外すことなく、容易に着脱できます。
バルブカバーを取り外した後、1本のボルトを取り外すだけでバルブプレートを取り外すことができ、簡単にメンテナンスを行うことができます。 - ULVAC VFRシリーズのバルブは、真空システム内の任意の位置に設置することが可能です。
自由な回転方向と柔軟な設置性（360度）により、さまざまな装置レイアウトに対応します。
仕様
| Model | VFR-400 | VFR-500 | |
| Common port diameter | Φ400mm | Φ500mm | |
| Flange specification (JIS B2290 equivalency) | VF400 | VF500 | |
| Open/close specification | 2 positions | ||
| Open/close operation principle | Pneumatic | ||
| Open/close time | 8sec | 12sec | |
| Valve plate seal | Reverse pressure capable | ||
| Open conductance | 50000L/s | 90000L/s | |
| Pressure range | 1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs) | ||
| Allowable baking temperature （at stopped） | Valve body : < 120℃ Cylinder : < 80℃ Valve body : < 248F Cylinder : < 176F | ||
| Allowable ambient temperature | 10 to 80℃ 50 to 176F | ||
| Allowable Gass temperature | 10 to 80℃ 50 to 176F | ||
| Compressed air pressure | 0.50 to 0.70MPaG 72.5 to 101.5psi 5.0 to 7.0bar | ||
| Compressed air supply port | Φ8 tube connection | ||
| Maintenance cycle | 100,000 | ||
| Mouting angle | Free | ||
| Main parts material | Valve body : AC4CH-T6 Seal plate : AC4CH-T6 | ||
| Seal material | Vacuum side：FPM | ||
| Oil | Z300 | ||
| Weight | 98kg | 155kg | |
| Flange to flange dimension | 150mm | 170mm | |
