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SC1シリーズ 冷陰極型真空計
G-TRAN SC1シリーズは、フィラメントを使用しないマグネトロン型冷陰極電離真空計です。 フィラメント交換が不要なため、ゲージ交換までの長寿命化を実現します。 また、メンテナンスが容易で、装置のランニングコスト低減に貢献します。
特長
プローブ仕様（Probe Specifications）
圧力表示が不要な場合、以下のメリットを実現できます。
- 表示器を省略することで、真空測定コストを削減
- 小型化により制御盤内の設置スペースを有効活用
- 配線数を削減し、システム構成を簡素化
メンテナンス性の向上
- 保守作業を大幅に簡略化
- フィラメントレス構造
- フィラメントを使用しないため、大気開放時のフィラメント損傷のリスクがありません。
出力仕様
- 制御出力信号
- 2点設定出力（Set Point Output）
- 圧力信号出力
- 圧力測定値：0～10 V擬似対数出力（非線形出力）
用途
- 半導体、光学部品、電子部品の製造に使用される高精度真空装置におけるプロセス圧力制御
- 真空炉（Vacuum Furnace）などの産業用真空装置における高真空領域でのプロセス制御
- インラインスパッタリング装置や枚葉式ウェハ処理装置など、複数の処理チャンバーを備えた真空システムにおけるプロセス圧力制御
仕様
| Type | Sensor unit | ||
| Model | SC1 | ||
| Compatible sensor head | C-21、23、24、25 | ||
| Measurement pressure range | 1.0×10-5 to 1.0 Pa | ||
| 7.5×10-8 to 7.5×10-3 Torr | |||
| 1.0×10-7 to 1.0×10-2 mbar | |||
| Accuracy | ＋100%,－50%（1.0×10-4 to 1.0×10-1 Pa） | ||
| ＋100%,－50%（7.5×10-7 to 7.5×10-4 Torr） | |||
| ＋100%,－50%（1.0×10-6 to 1.0×10-3 mbar） | |||
| Measurement value output | Nonlinear output: 0 to 10VDC | ||
| Pressure setting adjustment monitor | Nonlinear output: 0 to 10VDC | ||
| Control input signal | HV ON/OFF | ||
| Control output signal | Open collector output, negative logic Confirmation of electrical dischargel / Setpoint actuating signal 1/2 | ||
| Control output signal | Open collector output, negative logic Confirmation of electrical dischargel / Setpoint actuating signal 1/2 | ||
| LED display | POWER, HV, PROTECT, SETPOINT1/2 | ||
| Operating temperature range | 10 to 40℃（50 to 104°F） | ||
| Operating humidity range | 15 to 80%（not condensing） | ||
| Power supply voltage | DC24V±2V, 150mA | ||
| Input/Output connector | D-sub-15pin（M2.6 screw） | ||
| Weight | 430g（Excluding sensor head） | ||
| Standard accessories | Input/Output connector 1pc | ||
| Quick manual 1pc |
* アナログI/OおよびアナログGNDは、電源GNDから絶縁されていません。
