ULVAC Vietnam Representative Office
光学フィルター・コーティング用スパッタリングシステム ULDISシリーズ
ULDISシリーズは、Metaモードをさらに進化させたデジタルスパッタリングシステムであり、高品質な光学フィルターおよび光学コーティングの実現を可能にします。 ULVACは、米国JDS Uniphase社とライセンス契約を締結し、光学アプリケーション向けMetaMode®スパッタ技術のライセンスを取得しています。 ULDISは、お客様の生産現場への導入および幅広い開発用途に対応可能です。
特徴
- 光学フィルターのコーティングにおいて、優れた分光特性を実現します。
- 低温プロセスに対応し、基板への熱影響を低減します。
- デュアルカソード方式およびACスパッタリングにより、プラズマアークの発生を抑制します。
- コーティング膜厚を高精度かつ再現性良く制御できます。
- 低ダメージカソードを含む、用途に応じた多様なカソード選択が可能です。
用途
- デジタルカメラ用 IRカットフィルター
- プロジェクター用ダイクロイックフィルター
- DVD用ミラーコーティング
- その他の光学フィルター（反射防止コーティング（ARコーティング）を含む）
