ULVAC Vietnam Representative Office
一段式油回転真空ポンプ VS650A / VS750A
VS650AおよびVS750Aは、単段油回転ベーン式真空ポンプです。 VS2401およびVS1501と同様に、低振動・低騒音を実現するよう設計されています。 VSシリーズは、工場設備における設置スペースの削減や交換部品の共通化により、設備コストおよびメンテナンスコストの低減に貢献します。 また、お客様の設置条件や用途に応じて、空冷式および水冷式の冷却方式を選択できます。
特長（
VSシリーズは、ダイレクトドライブ方式を採用した単段油回転ベーン式真空ポンプです。
ULVAC独自のシンプル化された設計により、コンパクトなボディサイズを実現し、無駄のない合理的な構造と低振動運転を可能にしています。
また、同等クラスの他社製ポンプと比較して、使用する真空オイル量を大幅に削減しています。これにより、お客様のランニングコスト低減に貢献します。
さらに、オイル循環システムおよびオイル冷却システムの改良により、過酷な環境下でも安定した連続運転が可能です。
例えば、真空熱処理炉では、炉内温度が1,000℃以上に達する場合があり、大量の熱が真空ポンプ側へ伝わります。しかし、優れた冷却システム設計により、VSシリーズはこのような厳しい条件下でも安定した運転を維持します。
単段油回転真空ポンプの特長
- 高い排気能力を持つ油回転ベーン式真空ポンプ
650 m³/hおよび750 m³/hの2機種をラインアップ。メカニカルブースターポンプとの組み合わせにより、さらに高い排気性能を発揮します。 - 低振動・低騒音設計
周囲環境への影響を最小限に抑え、特殊な基礎構造を必要とする設置場所にも適しています。 - 軽量・コンパクト設計
設置スペースを削減でき、同等クラスの他社製高排気量ポンプと比較して、メンテナンス部品コストの低減にも貢献します。 - 大気圧付近でも安定した排気速度を維持
大気圧から真空状態までの繰り返し運転や24時間連続運転にも対応可能です。定期的なオイル交換およびメンテナンスにより、安定した運転を継続できます。 - 簡単なメンテナンス性
シンプルな構造により、分解・清掃が容易です。また、大容量オイルチャンバーを採用することで、オイル交換周期を延長できます。 - オイルミストトラップ内蔵
オイルミストトラップをオイルタンク内部に配置し、フィルター交換も容易に行えます。 - 空冷式・水冷式に対応
お客様の設置条件や用途に応じて、冷却方式を選択できます。 - オイルクーラー搭載による長寿命化
オイル温度の上昇を抑制し、ポンプの耐久性および安定稼働に貢献します。
用途
- 真空凍結乾燥（フリーズドライ）／真空昇華乾燥
- 真空乾燥
- 蒸発、スパッタリング、イオンプレーティング
- 真空熱処理炉、焼結炉、加熱炉、ろう付け炉
- 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱臭
- ガス置換・ガス供給、真空断熱
- 自動リーク検査装置 など
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真空ポンプの価格について：
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仕様
| Specifications | VS650A-A | VS650A-W | VS750A-A | VS750A-W | |||
| Max. pumping speed m3/h（L/min） | 50Hz | 650（10833） | 750（12500） | ||||
| 60Hz | 750（12500） | n/a | |||||
| Ultimate pressure *1 Pa | GP close | 8 Pa | |||||
| GP1 open | ≦50 | ||||||
| GP1-2 open | ≦60 | ||||||
| Max. water vapor tolerance *2 Pa | GP1 open | 50Hz | 4500 | 2500 | 5500 | 2500 | |
| 60Hz | 5500 | 2500 | n/a | ||||
| GP1-2 open | 50Hz | 6000 | 3800 | 7500 | 4000 | ||
| 60Hz | 7500 | 4000 | n/a | ||||
| Max. water vapor capacity *2 kg/h | GP1 open | 50Hz | 17 | 11 | 24 | 13 | |
| 60Hz | 24 | 13 | n/a | ||||
| GP1-2 open | 50Hz | 26 | 15 | 34 | 19 | ||
| 60Hz | 34 | 19 | n/a | ||||
| Motor *3 | Type | Totally enclosed external fan 3 phase AC motor | |||||
| kw（Poles） | 22（4） | ||||||
| Power consumption kW *6 | 50Hz | 200～240/380～415 | |||||
| 60Hz | 200～240/380～460 | n/a | |||||
| Oil *4 | ULVOIL R-7 | ||||||
| Oil capacity L | 23～27 | 25～30 | 23～27 | 25～30 | |||
| Cooling method | Air cooled | Water cooled | Air cooled | Water cooled | |||
| Cooling water | Primary side pressure MPa | － | ?0.5 | － | ?0.5 | ||
| Inlet/outlet differential pressure MPa | － | ?0.1 | － | ?0.1 | |||
| Capacity L/min | － | ?3.0 | － | ?3.0 | |||
| Temperature °C | － | 5～30 | － | 5～30 | |||
| Inlet | DN100 ISO-K | ||||||
| Outlet | DN100 ISO-K | ||||||
| Weight kg | 806 | 800 | 802 | 796 | |||
| External dimensions W×D×H mm | 1490×905×705 | 1490×841×705 | 1490×905×705 | 1490×841×705 | |||
| Applicable standard | CE/cTUVus | ||||||
| Standard accessories | Oil for one pump, 1 set of instruction manual | ||||||
| Options | explosion-protection motor, flame-proof motor, specified voltage motor, JIS flange *5, gas ballast valve 2 (manual) | ||||||
メカニカルブースターポンプと組み合わせた一段油回転真空ポンプ
| Model | PMB2400D | PMB2400D | PMB2400D | PMB2400D | |||
| Max. pumping speed m3/h（L/min） | 50Hz | 2500（41667） | 3100（51667） | ||||
| 60Hz | 3100（51667） | n/a | |||||
| Ultimate pressure *1 Pa | GP close | ?0.8 | |||||
| GP1 open | ?5 | ||||||
| GP1-2 open | ?6 | ||||||
| Max. water vapor tolerance *2 Pa | GP GP1 open | 50Hz | 1200 | 750 | 1600 | 700 | |
| 60Hz | 1600 | 700 | n/a | ||||
| GP GP1-2 open | 50Hz | 2500 | 1200 | 2800 | 1200 | ||
| 60Hz | 2800 | 1200 | n/a | ||||
| Max. water vapor tolerance *2 kg/h | GP GP1 open | 50Hz | 16 | 10 | 24 | 11 | |
| 60Hz | 24 | 11 | n/a | ||||
| GP GP1-2 open | 50Hz | 26 | 15 | 34 | 19 | ||
| 60Hz | 34 | 19 | n/a | ||||
| Motor *3 | Type | Totally enclosed external fan 3 phase AC motor | |||||
| kW(Poles) | MBP:7.5(2)+ RP:22(4) | ||||||
| Power consumption kW *6 | 50Hz | 9 | 12 | ||||
| 60Hz | 12 | n/a | |||||
| Voltage V | 50Hz | 200～240/380～415 | 200～240/380～415 | ||||
| 60Hz | 200～240/380～460 | n/a | |||||
| Oil *4 | MBP:ULVOIL R-4＋RP:ULVOIL R-7 | ||||||
| Oil capacity L | MBP:3.6～4.0 RP:23～27 | MBP:3.6～4.0 RP:25～30 | MBP:3.6～4.0 RP:23～27 | MBP:3.6～4.0 RP:25～30 | |||
| Cooling method | Air cooled *7 | Water cooled | Air cooled *7 | Water cooled | |||
| Cooling water | Primary side pressure MPa | － | ?0.5 | － | ?0.5 | ||
| Inlet/outlet differential pressure MPa | － | ?0.1 | － | ?0.1 | |||
| Capacity L/min | MBP:?3.0 PR:?3.0 | ?3.0 | － | MBP:?3.0 PR:?3.0 | |||
| Temperature °C | － | 5～30 | － | 5～30 | |||
| Inlet | VG200/DN 160 ISO-K (option) | ||||||
| Outlet | DN100 ISO-K | ||||||
| Weight kg | 1076 | 1070 | 1072 | 10666 | |||
| External dimensions W×D×H mm | 1490×905×1260 | 1490×841×1260 | 1490×905×1260 | 1490×841×1260 | |||
| Applicable standard | CE/cTUVus | ||||||
| Standard accessories | Oil for one pump, 1 set of instruction manual | ||||||
| Options | [For MBP] explosion-protection motor,flame-proof motor,specified voltage motor,ISO flange, Atmospheric pressure start type (Inverter) MBP adapter | ||||||
注意
*1 ピラニ真空計にて測定。
（マクラウド真空計で測定した場合：約0.8 Pa）
*2 水蒸気許容量および処理能力は、下記の冷却水条件に基づいて測定しています。
冷却水入口温度：26℃（78.8°F）
| Model | VS650A-W | VS750A-W | |
| GP1 open | 50Hz | 3 L/min. | 5 L/min. |
| 60Hz | 5 L/min. | － | |
| GP1･2 open | 50Hz | 3 L/min. | 5 L/min. |
| 60Hz | 5 L/min. | － | |
*3 安全増防爆モーターおよび耐圧防爆フランジモーターはオプションとして対応可能です。
ただし、マルチ電圧仕様は選択できません。
*4 その他の種類の真空オイルも対応可能です。詳細についてはお問い合わせください。
*5 吸気口・排気口にJISフランジを選択した場合、配管接続寸法が変更になります。
*6 最大圧力時。
*7 インバータ使用時のみ。
400～50,000 Paの範囲では、水冷仕様と比較して空冷仕様の排気速度特性が低下します。
