ULVAC Vietnam Representative Office
메커니컬 부스터 펌프 모델 PRC-003A, PRC-006A, PRC-012A, PRC-018A
PRC 부스터 펌프는 **반도체 및 액정 생산 공정과 같이 높은 수준의 청정도가 요구되는 공정**에 주로 사용하도록 설계된 **메커니컬 부스터 펌프**입니다. 본 시리즈는 **드라이 진공 펌프, 오일식 진공 펌프 또는 수봉식 진공 펌프**와 함께 사용할 수 있습니다. PRC 부스터 펌프는 **10 kPa ~ 0.1 Pa의 압력 범위**에서 펌핑 속도를 향상시킬 수 있으며, 이 압력 영역에서는 1차 진공 펌프의 펌핑 속도가 감소하기 때문에 부스터 펌프를 함께 사용함으로써 **전체적인 배기 성능을 향상**시킬 수 있습니다. 진공 챔버 내부를 구성하는 구조와 **모터 직결 구동 방식**을 적용하여, 기존의 축 씰링 부위에서 발생할 수 있는 **오일 누유 문제를 방지**할 수 있습니다. 또한 **대기압에서 직접 기동할 수 있는 모델**도 개발되어 있어, 다양한 진공 공정 및 운전 조건에 대응할 수 있습니다.
특징
- 수증기 및 용제에 강한 안정적인 펌핑 성능
펌프 내부의 로터 및 하우징에 윤활유가 사용되지 않아 수증기 및 용제에 의한 영향을 최소화하고 안정적인 펌핑 성능을 유지할 수 있습니다. - 모터 직결 구동 방식으로 오일 누유 방지
진공 챔버 구조와 모터 직결 구동 방식을 적용하여 기계식 씰이 필요하지 않습니다. 이를 통해 유지보수 비용을 절감하고 펌프의 축 씰 부위에서 발생할 수 있는 오일 누유를 방지할 수 있습니다. - 부식성 및 유해 가스에 대응 가능한 표면 처리
유해 가스 또는 부식성이 높은 가스를 처리하는 환경에서는 ULVAC의 내식성 표면 처리 진공 펌프를 선택할 수 있습니다. 주요 부품에는 알루마이트(Alumite) 처리를 적용하여 표면 경도를 높이고, 펌프 내부의 스크래치 및 부식을 효과적으로 방지합니다. - 대기압 기동형 부스터 펌프(옵션: 인버터)
대기압에서 직접 기동할 수 있는 부스터 펌프를 사용하면 배기 시간을 단축할 수 있습니다. 1차 진공 펌프와 동시에 기동할 수 있어 표준형 모델에 비해 전체 배기 시간을 더욱 단축할 수 있습니다.
응용 분야
- 증발, 스퍼터링, 이온 플레이팅, 진공 건조, 동결건조 및 진공 탈기
- 분석 장비, 누설 검사 시스템, 가스 치환, 충진 및 진공 단열
- 열처리 및 용해로
- 화학 반응 챔버의 진공 배기
- 기타 다양한 진공 시스템
- 100% 신품 제품 공급
중고 또는 품질이 검증되지 않은 산업용 진공 펌프 구매가 걱정되시나요? ULVAC Vietnam은 항상 최신 제품을 공급하며, 명확한 제품 출처를 보장합니다. 고객에게 최고의 제품과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. - 고객의 다양한 요구사항에 맞춘 제품 공급
적용 분야, 운전 압력, 전원 전압, 배기 속도 등 고객의 구체적인 요구사항에 맞춰 최적의 진공 펌프를 선정하고 공급해 드립니다. - 신속한 납기 및 베트남 현지 재고 보유
긴급하게 진공 펌프가 필요한 고객을 위해 베트남 현지에 예비 펌프를 확보하고 있어 신속한 대응과 납품이 가능합니다. - 진공 펌프 특별 가격 프로모션
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사양
Model | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |||
| Maximum pumping speed | 50Hz | m3/h(L/min) | 280（4670） | 500（8330） | 1000（16700） | 1500（25000） | |
| 60Hz | 330（5500） | 600（10000） | 1200（20000） | 1800（30000） | |||
| Maximum suction pressure | 50Hz | Pa | 1.2 x 103 | 1.3 x 103 | 1.2 x 103 | ||
| 60Hz | 9.3 x 102 | 1.1 x 103 | 9.3 x 102 | ||||
| Maximum allowable differential pressure | 50Hz | Pa | 4.0 x 103 | 7.3 x 103 | 4.3 x 103 | ||
| 60Hz | 3.3 x 103 | 6.0 x 103 | 3.2 x 103 | ||||
| Ultimate pressure *1 | Pa | 4.0 x 10-1 | 6.7 x 10-1 | ||||
| Allowable drive pressure | Pa | ～1.0 x 105（atmospheric pressure start type） | |||||
| Motor *2 | kW | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7（2） | 5.5（2） | ||
| Oil *3 | ULVOIL R-4 | ||||||
| Oil quantity | L | 0.7 | 1.5 | 1.9 | |||
| Cooling method | Water cooling | ||||||
| Cooling water | Primary side pressure | MPa | 0.3 | ||||
| Inlet/outlet differential pressure Volume | MPa | 0.01< | |||||
| Inlet/outlet differential pressure Volume | L/min | 2 | 3 | ||||
| Temprature *4 | ℃ | 5 ～ 30 | |||||
| Inlet port JIS-B-2290 | VG80 / ISO80F(optional) | VG80(optional) | VG150(optional) | ||||
| Outlet port JIS-B-2290 | VF80(optional) | VF100(optional) | |||||
| Dimension（W×D×H） | mm | 296×575×260 | 356×619×320 | 406×759×340 | 406×989×340 | ||
| Weight total | kg | 51 | 86 | 118 | 150 | ||
| Standard roughing pump *5 | VD601 | VD901 | VS1501 | VS2401 | |||
| Optional | adapter flange, atmospheric pressure start type (Inverter), lubrication oil, lubrication chamber evacuation | ||||||
비고
- Pirani 진공 게이지로 측정한 값입니다. McLeod 진공 게이지로 측정한 경우 약 4.0 × 10⁻² Pa입니다.
- AC 200 V (50 Hz / 60 Hz), AC 220 V (60 Hz), 3상입니다. 요청에 따라 다른 전압도 제공 가능합니다.
- **합성 오일(R-7000) 또는 불소계 오일(J25F)**을 옵션으로 선택할 수 있습니다.
- 냉각수 온도가 낮은 경우 결로가 발생하지 않는 환경에서 사용하십시오.
- 본 펌프의 성능은 1차 진공 펌프(Backing Pump)의 사양에 따라 달라질 수 있습니다. 상기 데이터는 표준 1차 진공 펌프를 기준으로 한 값입니다.
