BƠM TĂNG ÁP PRC-003A, PRC-006A, PRC-012A, PRC-018A ULVAC
Bơm tăng áp PRC là máy bơm tăng áp cơ học được thiết kế chủ yếu để sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn và tinh thể lỏng đòi hỏi độ sạch đặc biệt. Dòng này có thể được sử dụng cùng với máy bơm chân không khô, máy bơm chân không vòng dầu hoặc máy bơm chân không vòng nước. Máy bơm tăng áp này có thể tăng tốc độ bơm trong phạm vi từ 10kPa đến 0,1 Pa, trong đó tốc độ bơm của máy bơm sơ cấp giảm xuống. Bằng cách tạo khoang chân không, motor được kết nối trực tiếp với bơm, hiện tượng rò rỉ dầu sẽ không còn từ bộ phận làm kín trục. Chúng tôi cũng phát triển các dòng hoạt động từ áp suất khí quyển.
ĐẶC ĐIỂM
- Vì không có dầu bôi trơn trong thành bơm nên hiệu suất bơm ổn định chống lại hơi nước và dung môi.
- Bơm chân không được thiết kế có khoang chân không, motor được kết nối trực tiếp với bơm. Không cần dùng phớt cơ khí. Điều này giúp giảm chi phí và không gây ra hiện tượng rò rỉ dầu.
- Đối với môi trường có khí độc hại, tính ăn mòn cao, khách hàng có thể lựa chọn dòng bơm chân không đã được xử lý bề mặt giúp chống ăn mòn của Ulvac. Các bộ phận chính được xử lý bằng alumite, có độ cứng bề mặt cao để chống trầy xước và ăn mòn bên trong máy bơm.
- Đối với dòng bơm tăng áp hút từ áp suất khí quyển (tùy chọn: biến tần) giúp rút ngắn thời gian xả. Do có thể khởi động cùng lúc với bơm sơ cấp nên thời gian xả có thể rút ngắn so với loại tiêu chuẩn.
ỨNG DỤNG BƠM TĂNG ÁP PRC
- Bốc hơi, phún xạ, mạ ion, Máy sấy chân không, máy sấy đông lạnh, khử khí chân không
- Dụng cụ phân tích, hệ thống kiểm tra rò rỉ, trao đổi khí, làm đầy, cách nhiệt chân không
- Xử lý nhiệt, lò nấu chảy
- Hút chân không trong các buồng tạo phản ứng hóa học
- Các loại hệ thống chân không khác nhau
- Hàng mới 100%: Bạn sợ nếu mua bơm hút chân không công nghiệp cũ, kém chất lượng? Ulvac Việt Nam cam kết luôn cập nhật và nhập về những sản phẩm mới nhất, xuất xứ rõ ràng vì chúng tôi muốn đem đến cho khách hàng những trải nghiệm tuyệt vời nhất.
- Tùy vào từng yêu cầu về ứng dụng, áp suất, điện áp, lưu lượng hút,… Ulvac Việt Nam cam kết có đủ!
- Thời gian giao hàng nhanh, có bơm dự phòng ngay tại Việt Nam cho những khách hàng cần sử dụng gấp.
- Giá máy bơm hút chân không: Ulvac Việt Nam hiện đang có nhiều chương trình ưu đãi đặc biệt về giá trong cuối năm nay, khách yêu đừng bỏ lỡ nhé!
- Bạn chưa biết sản phẩm này có phù hợp với ứng dụng sản xuất bên mình hay chưa? Bạn yên tâm, cứ gọi trực tiếp cho Ulvac Việt Nam 0988 248 567 (Mr Ngọc) hoặc 0936151138 (Ms Hảo). Quý khách cũng có thể để lại số điện thoại qua tin nhắn, chúng tôi sẽ chủ động liên hệ và tư vấn chi tiết.
THÔNG SỐ KỸ THUẬT BƠM TĂNG ÁP PRC
Model | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |||
| Maximum pumping speed | 50Hz | m3/h(L/min) | 280（4670） | 500（8330） | 1000（16700） | 1500（25000） | |
| 60Hz | 330（5500） | 600（10000） | 1200（20000） | 1800（30000） | |||
| Maximum suction pressure | 50Hz | Pa | 1.2 x 103 | 1.3 x 103 | 1.2 x 103 | ||
| 60Hz | 9.3 x 102 | 1.1 x 103 | 9.3 x 102 | ||||
| Maximum allowable differential pressure | 50Hz | Pa | 4.0 x 103 | 7.3 x 103 | 4.3 x 103 | ||
| 60Hz | 3.3 x 103 | 6.0 x 103 | 3.2 x 103 | ||||
| Ultimate pressure *1 | Pa | 4.0 x 10-1 | 6.7 x 10-1 | ||||
| Allowable drive pressure | Pa | ～1.0 x 105（atmospheric pressure start type） | |||||
| Motor *2 | kW | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7（2） | 5.5（2） | ||
| Oil *3 | ULVOIL R-4 | ||||||
| Oil quantity | L | 0.7 | 1.5 | 1.9 | |||
| Cooling method | Water cooling | ||||||
| Cooling water | Primary side pressure | MPa | 0.3 | ||||
| Inlet/outlet differential pressure Volume | MPa | 0.01< | |||||
| Inlet/outlet differential pressure Volume | L/min | 2 | 3 | ||||
| Temprature *4 | ℃ | 5 ～ 30 | |||||
| Inlet port JIS-B-2290 | VG80 / ISO80F(optional) | VG80(optional) | VG150(optional) | ||||
| Outlet port JIS-B-2290 | VF80(optional) | VF100(optional) | |||||
| Dimension（W×D×H） | mm | 296×575×260 | 356×619×320 | 406×759×340 | 406×989×340 | ||
| Weight total | kg | 51 | 86 | 118 | 150 | ||
| Standard roughing pump *5 | VD601 | VD901 | VS1501 | VS2401 | |||
| Optional | adapter flange, atmospheric pressure start type (Inverter), lubrication oil, lubrication chamber evacuation | ||||||
GHI CHÚ
1 Được đo bằng máy đo chân không Pirani. Nó sẽ là khoảng 4,0 x 10-2Pa khi được đo bằng máy đo chân không MacLeod.
2 AC200V (50Hz / 60Hz), AC220V (60Hz), 3Phase. Điện áp khác có sẵn theo yêu cầu.
3 Dầu tổng hợp (R-7000) hoặc dầu flo (J25F) có thể lựa chọn làm tùy chọn
4 Vui lòng sử dụng nó trong môi trường không có sương khi nhiệt độ của nước làm mát thấp.
5 Hiệu suất của các máy bơm này có thể thay đổi tùy thuộc vào máy bơm gia công thô. Dữ liệu trên dựa trên máy bơm gia công thô tiêu chuẩn.
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam