ULVAC Vietnam Representative Office
ブースターポンプ PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
PRCシリーズのブースターポンプは、特に高い清浄度が要求される半導体および液晶製造プロセスでの使用を主な目的として設計されたメカニカルブースターポンプです。 本シリーズは、ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、水封式真空ポンプなどの各種プライマリーポンプと組み合わせて使用することができます。 ブースターポンプは、プライマリーポンプの排気速度が低下する10 kPa～0.1 Paの圧力領域において、排気速度を大幅に向上させることが可能です。 真空チャンバー内にモーターを配置し、ポンプとモーターを直結する構造を採用することで、軸封部からの油漏れを防止しています。 また、大気圧から運転可能なタイプも開発されており、幅広い真空プロセスに対応しています。
特長
- ポンプ内部に潤滑油を使用しない構造のため、水蒸気や溶剤に対して安定した排気性能を発揮します。
- 真空チャンバー内にモーターを配置し、ポンプとモーターを直結する構造を採用しています。機械式シール（メカニカルシール）が不要となるため、コスト低減が可能であり、油漏れの発生もありません。
- 有毒ガスや腐食性ガスを含む環境で使用する場合、ULVACでは耐腐食処理を施した真空ポンプを選択できます。主要部品にはアルマイト処理を施し、表面硬度を高めることで、傷やポンプ内部の腐食を防止します。
- 大気圧から吸引可能なブースターポンプ（オプション：インバータ仕様）では、排気時間を短縮できます。プライマリーポンプと同時起動が可能なため、標準タイプと比較して排気時間の短縮が可能です。
PRCシリーズ メカニカルブースターポンプの用途
- 蒸発、スパッタリング、イオンプレーティング
- 真空乾燥装置、凍結乾燥装置、真空脱気
- 分析機器、リークテストシステム、ガス置換、ガス充填、真空断熱
- 熱処理、溶解炉（真空熱処理炉）
- 化学反応チャンバーの真空排気
- 各種真空システム
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PRCブースターポンプ 仕様
Model | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |||
| Maximum pumping speed | 50Hz | m3/h(L/min) | 280（4670） | 500（8330） | 1000（16700） | 1500（25000） | |
| 60Hz | 330（5500） | 600（10000） | 1200（20000） | 1800（30000） | |||
| Maximum suction pressure | 50Hz | Pa | 1.2 x 103 | 1.3 x 103 | 1.2 x 103 | ||
| 60Hz | 9.3 x 102 | 1.1 x 103 | 9.3 x 102 | ||||
| Maximum allowable differential pressure | 50Hz | Pa | 4.0 x 103 | 7.3 x 103 | 4.3 x 103 | ||
| 60Hz | 3.3 x 103 | 6.0 x 103 | 3.2 x 103 | ||||
| Ultimate pressure *1 | Pa | 4.0 x 10-1 | 6.7 x 10-1 | ||||
| Allowable drive pressure | Pa | ～1.0 x 105（atmospheric pressure start type） | |||||
| Motor *2 | kW | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7（2） | 5.5（2） | ||
| Oil *3 | ULVOIL R-4 | ||||||
| Oil quantity | L | 0.7 | 1.5 | 1.9 | |||
| Cooling method | Water cooling | ||||||
| Cooling water | Primary side pressure | MPa | 0.3 | ||||
| Inlet/outlet differential pressure Volume | MPa | 0.01< | |||||
| Inlet/outlet differential pressure Volume | L/min | 2 | 3 | ||||
| Temprature *4 | ℃ | 5 ～ 30 | |||||
| Inlet port JIS-B-2290 | VG80 / ISO80F(optional) | VG80(optional) | VG150(optional) | ||||
| Outlet port JIS-B-2290 | VF80(optional) | VF100(optional) | |||||
| Dimension（W×D×H） | mm | 296×575×260 | 356×619×320 | 406×759×340 | 406×989×340 | ||
| Weight total | kg | 51 | 86 | 118 | 150 | ||
| Standard roughing pump *5 | VD601 | VD901 | VS1501 | VS2401 | |||
| Optional | adapter flange, atmospheric pressure start type (Inverter), lubrication oil, lubrication chamber evacuation | ||||||
注記
(1) Pirani真空計による測定値です。McLeod真空計では約4.0×10⁻² Paとなります。
(2) AC200V（50/60Hz）、AC220V（60Hz）、三相仕様。その他電圧は別途対応可能です。
(3) 合成油（R-7000）またはフッ素系オイル（J25F）はオプションで選択可能です。
(4) 冷却水温度が低い場合は、結露のない環境で使用してください。
(5) 性能は粗引きポンプの種類により変化します。記載データは標準粗引きポンプ使用時の値です。
