机械增压泵 型号 PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
机械增压泵与干式真空泵、油旋转真空泵或水封真空泵配合使用时，可以在 10 kPa 到 0.1 Pa 范围内提升抽速，而此时前级泵的抽速会下降。
特点 机械增压泵 PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
- 无油
泵腔内无油，即使在抽取水蒸气或溶剂蒸气时也能保持稳定性能。 屏蔽电机
采用屏蔽电机可避免在大气与真空之间使用机械密封。可在无油泄漏顾虑的清洁环境中使用。- 优异的耐腐蚀表面处理
主要部件采用阳极氧化涂层，提高表面硬度和耐腐蚀性，可防止泵内划伤和腐蚀。可选不进行表面处理的版本。 - 大气压启动型，缩短抽气时间（选配：变频器）
该型号与前级泵同时启动，较标准型号可缩短抽气时间。
技术参数
- 蒸发、溅射、离子镀
真空干燥机、冷冻干燥机、真空脱气 - 分析仪器、检漏系统、气体置换、充填、真空绝热
- 热处理、熔炼炉 (vacuum furnace)
- 其他各种真空系统
技术参数 机械增压泵 PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
| 型号 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |||
| 最大抽气速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 280（4670） | 500（8330） | 1000（16700） | 1500（25000） | |
| 60Hz | 330（5500） | 600（10000） | 1200（20000） | 1800（30000） | |||
| 最大吸气压力 | 50Hz | Pa | 1.2 x 103 | 1.3 x 103 | 1.2 x 103 | ||
| 60Hz | 9.3 x 102 | 1.1 x 103 | 9.3 x 102 | ||||
| 最大允许压差 | 50Hz | Pa | 4.0 x 103 | 7.3 x 103 | 4.3 x 103 | ||
| 60Hz | 3.3 x 103 | 6.0 x 103 | 3.2 x 103 | ||||
| 极限压力 *1 | Pa | 4.0 x 10-1 | 6.7 x 10-1 | ||||
| 允许驱动压力 | Pa | ～1.0 x 105（大气压启动型） | |||||
| 电机 *2 | kW | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7（2） | 5.5（2） | ||
| 油 *3 | ULVOIL R-4 | ||||||
| 油量 | L | 0.7 | 1.5 | 1.9 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
| 冷却水 | 一次侧压力 | MPa | 0.3 | ||||
| 进出口压差容积 | MPa | 0.01< | |||||
| 进出口压差容积 | L/min | 2 | 3 | ||||
| 温度 *4 | ℃ | 5 ～ 30 | |||||
| 入口端口 JIS-B-2290 | VG80 / ISO80F(可选) | VG80(可选) | VG150(可选) | ||||
| 出口端口 JIS-B-2290 | VF80(可选) | VF100(可选) | |||||
| 尺寸（W×D×H） | mm | 296×575×260 | 356×619×320 | 406×759×340 | 406×989×340 | ||
| 总重量 | kg | 51 | 86 | 118 | 150 | ||
| 标准前级泵 *5 | VD601 | VD901 | VS1501 | VS2401 | |||
| 可选 | 适配法兰、大气压启动型（变频器）、润滑油、润滑腔抽气 | ||||||
注:
*1 使用皮拉尼真空计测量。使用麦克劳德真空计时约为 4.0 × 10⁻² Pa。
*2 AC200V（50Hz/60Hz）、AC220V（60Hz）、三相。其他电压可根据要求提供。
*3 可选合成油（R-7000）或氟油（J25F）。
*4 当冷却水温度较低时，请在无结露环境下使用。
*5 泵的性能可能因前级泵而异。以上数据基于标准前级泵。
除了经销 ULVAC 真空泵系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些真空泵的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 151 138（Hao 女士）。
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