ULVAC Vietnam Representative Office
SiC용 고온 이온 주입 시스템 IH-860DSIC
ULVAC의 SiC용 고온 이온 주입 시스템 IH-860DSIC는 고온 ESC를 적용한 양산형 장비로, SiC 반도체 제조를 비롯한 다양한 분야에 적용할 수 있습니다.
특징
- 연속 고온 이온 주입 지원
- 최대 700 keV 고에너지 이온 주입
- 소프트웨어를 통한 연속 이온 주입 지원
- 소형 설치 면적
- R&D부터 양산까지 폭넓게 대응
응용 분야
- SiC 소자
