ULVAC Vietnam Representative Office
SiC対応高温イオン注入装置 IH-860DSiC
IH-860DSiCは、SiC向け高温ESCを搭載した量産対応の高温イオン注入装置です。幅広いアプリケーションに対応し、SiCデバイスの量産に最適なソリューションを提供します。
特長
- 高温イオン注入の連続処理に対応
- 最大700 keVに対応
- ソフトウェアによるシーケンシャルイオン注入に対応
- コンパクトな設置面積（省フットプリント設計）
- 研究開発（R&D）から量産まで対応
用途
- SiCデバイス
