HỆ THỐNG MẺ ĐỂ LOẠI BỎ OXIDE TỰ NHIÊN RISETM-300
Loại thiết bị vệ sinh khô bằng hóa chất theo lô để loại bỏ oxit bản địa ở các dạng tiếp xúc hẹp và sâu của chất bán dẫn tiên tiến.
Đặc điểm
- Không hư hại (quá trình plasma từ xa và nhiệt độ thấp)
- Thông lượng cao và CoO thấp
- Chế biến theo lô 50 tấm wafer
- Độ đồng đều cao của khắc (5% hoặc ít hơn mỗi mẻ)
- Bảo trì dễ dàng
- Dấu chân nhỏ so với thiết bị loại cụm
- Điện trở tiếp xúc tự căn chỉnh thấp hơn 50% so với quy trình ướt hiện tại
- Bản in chân nhỏ nhất
ứng dụng
- Làm sạch trước để hình thành tiếp điểm tự căn chỉnh (SAC)
- Làm sạch trước để hình thành tụ điện
- Làm sạch trước để tăng trưởng biểu mô
bảng tiêu chuẩn
| Model | RISETM-300 | |
| Plasma Source | Microwave Power Supply | |
| Configuration | EFEM + LL + PM | |
| Wafer Size | 300mm diameter | |
| Wafer Stage | Ceramic Board (50 wafers/batch) | |
| Pumping System | Etching Module:Mechanical booster pump +DRP | |
| Control System | FAPC+TFT Touch Panel | |
| Gas Supply | 3 lines | |
| Application | Pretreatment for SAC, Capacitor, Epitaxial growth | |
关注我们
Zalo
ZALO 0988248567
Line Add
联系我们
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam