HỆ THỐNG SPUTTERING DẠNG MẺ DÒNG SV
Hệ thống phún xạ kiểu mẻ dọc. Các mô hình dòng bao gồm mô hình máy dập đĩa SV-200 và các loại băng chuyền để xử lý chất nền khối lượng lớn.
ĐẶC ĐIỂM
- SV-4540, 6040 và 9045 là loại băng chuyền có thể tải một khối lượng lớn chất nền. Chúng lý tưởng cho sản xuất quy mô vừa và nhỏ, hoặc sản xuất khối lượng thấp nhiều loại chất nền khác nhau.
- SV-200 là hệ thống chuyên dụng để lắng đọng Ni của máy dập đĩa. Nó có thiết kế siêu nhỏ gọn, hoạt động hoàn toàn tự động và thông lượng cao.
ỨNG DỤNG
- Tạo màng điện cực, màng cách điện hoặc màng điện môi trên các chất nền khác nhau
BẢNG TIÊU CHUẨN
| SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 | ||
| Standard evacuation system | 8-inch cryopump | 12-inch cryopump | 12-inch cryopump | 16-inch cryopump | |
| Final pressure | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | |
| Deposition direction | Side | Side | Side | Side | |
| Deposition area uniformity Static Rotary | Φ200mm ± 5% | L300mm ± 10% | L300mm ± 10% | L400mm ± 10% | |
| Substrate heating | None | 250°C | 250°C | 250°C | |
| Control system | Automatic | Automatic | Automatic | Automatic | |
| Options (except SV-200) | Turbo pump | Drainage cold electrode |
| Oil diffusion pump | APC mechanism | |
| Simultaneous multi-source deposition | Substrate reversing mechanism | |
| Down deposition | Reactive sputter | |
| Conventional cathode | ||
| Cathode for strong magnets | ||
| RF etch cleaning (SV-4540) | ||
| Bias mechanism (SV-4540) |
关注我们
Zalo
ZALO 0988248567
Line Add
联系我们
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam