HỆ THỐNG CVD LOẠI CỤM PE CME-200E/400
CME-200E/400 là model phù hợp nhất trong hệ thống sản xuất dòng PE-CVD để tạo màng Si với ứng dụng làm lớp cách điện hoặc lớp chắn.
ĐẶC ĐIỂM
- Quy trình plasma mật độ cao với nguồn điện tần số cao (27,12 MHz).
- Màng chất lượng cao sử dụng tiền chất SiH4: SiO2, SiNx, SiON, a-Si, cũng cho quá trình TEOS cho màng SiO2.
- Làm sạch buồng bằng huyết tương NF3 + Ar.
- Hỗ trợ bộ gia nhiệt để lắng đọng EL hữu cơ ở nhiệt độ thấp.
- Kích thước bề mặt lên đến 200 x 200mm cho CME-200E, Max. 300 x 400mm đối với CME-400.
ỨNG DỤNG
- Thiết bị điện
- LED, LD, thiết bị tốc độ cao
- LED hữu cơ
- Pin mặt trời
- MEMS
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam