ULVAC Vietnam Representative Office

HỆ THỐNG CVD LOẠI CỤM PE CME-200E/400

CME-200E/400 là model phù hợp nhất trong hệ thống sản xuất dòng PE-CVD để tạo màng Si với ứng dụng làm lớp cách điện hoặc lớp chắn.

ĐẶC ĐIỂM

  • Quy trình plasma mật độ cao với nguồn điện tần số cao (27,12 MHz).
  • Màng chất lượng cao sử dụng tiền chất SiH4: SiO2, SiNx, SiON, a-Si, cũng cho quá trình TEOS cho màng SiO2.
  • Làm sạch buồng bằng huyết tương NF3 + Ar.
  • Hỗ trợ bộ gia nhiệt để lắng đọng EL hữu cơ ở nhiệt độ thấp.
  • Kích thước bề mặt lên đến 200 x 200mm cho CME-200E, Max. 300 x 400mm đối với CME-400.

ỨNG DỤNG

  • Thiết bị điện
  • LED, LD, thiết bị tốc độ cao
  • LED hữu cơ
  • Pin mặt trời
  • MEMS