HỆ THỐNG PHÚN XẠ LOẠI KHÓA TẢI CS-200

Home / Sản phẩm / Thiết bị chân không / Hệ thống phún xạ chân không / HỆ THỐNG PHÚN XẠ LOẠI KHÓA TẢI CS-200

Hệ thống phún xạ loại khóa tải CS 200 dành cho nghiên cứu & phát triển và ứng dụng sản xuất nhỏ.

ĐẶC ĐIỂM

Khả năng truyền chất nền lên đến Φ300mm (Hiệu suất lắng đọng lên đến Φ200mm).
Tự động lắng đọng nhiều lớp bằng cách kiểm soát công thức.
Có khả năng chuyển chất nền tự động bằng cách chỉ cần nạp chất nền vào bộ thao tác trong buồng khóa tải.
Buồng Cassete có sẵn 5 chất nền bên trong buồng khóa tải.
Đồng phún xạ và lắng đọng nhiều lớp bằng cách sử dụng nhiều cực âm.
Bias-sputtering có sẵn với nguồn cung cấp điện Bias chất nền tùy chọn.

ỨNG DỤNG

Nghiên cứu
Sản xuất nhỏ.