HỆ THỐNG PHÚN XẠ LOẠI KHÓA TẢI CS-200
Hệ thống phún xạ loại khóa tải CS 200 dành cho nghiên cứu & phát triển và ứng dụng sản xuất nhỏ.
ĐẶC ĐIỂM
- Khả năng truyền chất nền lên đến Φ300mm (Hiệu suất lắng đọng lên đến Φ200mm).
- Tự động lắng đọng nhiều lớp bằng cách kiểm soát công thức.
- Có khả năng chuyển chất nền tự động bằng cách chỉ cần nạp chất nền vào bộ thao tác trong buồng khóa tải.
- Buồng Cassete có sẵn 5 chất nền bên trong buồng khóa tải.
- Đồng phún xạ và lắng đọng nhiều lớp bằng cách sử dụng nhiều cực âm.
- Bias-sputtering có sẵn với nguồn cung cấp điện Bias chất nền tùy chọn.
ỨNG DỤNG
- Nghiên cứu
- Sản xuất nhỏ.
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam