HỆ THỐNG SPUTTERING DẠNG MẺ DÒNG SV

Home / Sản phẩm / Thiết bị chân không / Hệ thống phún xạ chân không / HỆ THỐNG SPUTTERING DẠNG MẺ DÒNG SV

Hệ thống phún xạ kiểu mẻ dọc. Các mô hình dòng bao gồm mô hình máy dập đĩa SV-200 và các loại băng chuyền để xử lý chất nền khối lượng lớn.

ĐẶC ĐIỂM

SV-4540, 6040 và 9045 là loại băng chuyền có thể tải một khối lượng lớn chất nền. Chúng lý tưởng cho sản xuất quy mô vừa và nhỏ, hoặc sản xuất khối lượng thấp nhiều loại chất nền khác nhau.
SV-200 là hệ thống chuyên dụng để lắng đọng Ni của máy dập đĩa. Nó có thiết kế siêu nhỏ gọn, hoạt động hoàn toàn tự động và thông lượng cao.

ỨNG DỤNG

Tạo màng điện cực, màng cách điện hoặc màng điện môi trên các chất nền khác nhau

BẢNG TIÊU CHUẨN

		SV-200	SV-4540	SV-6040	SV-9045
Standard evacuation system		8-inch cryopump	12-inch cryopump	12-inch cryopump	16-inch cryopump
Final pressure		6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa
Deposition direction		Side	Side	Side	Side
Deposition area uniformity Static Rotary		Φ200mm ± 5%	L300mm ± 10%	L300mm ± 10%	L400mm ± 10%
Substrate heating		None	250°C	250°C	250°C
Control system		Automatic	Automatic	Automatic	Automatic

Options (except SV-200)	Turbo pump	Drainage cold electrode
	Oil diffusion pump	APC mechanism
	Simultaneous multi-source deposition	Substrate reversing mechanism
	Down deposition	Reactive sputter
	Conventional cathode
	Cathode for strong magnets
	RF etch cleaning (SV-4540)
	Bias mechanism (SV-4540)