ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG CATOT LẠNH DÒNG SC1
G-TRAN dòng SC1 là một máy đo chân không catot lạnh kiểu magnetron. Vì không sử dụng dây tóc, nên đảm bảo tuổi thọ kéo dài giữa các lần thay thế đồng hồ đo. Bảo trì dễ dàng, giảm chi phí cho doanh nghiệp.
ĐẶC ĐIỂM
Đặc điểm kỹ thuật đầu dò
Khi không yêu cầu hiển thị áp suất, có thể đạt được những ưu điểm sau:
– Giảm chi phí đo chân không vì màn hình đã được loại bỏ
– Kích thước nhỏ hơn giải phóng không gian bảng điều khiển
– Hệ thống dây điện được giảm bớt
- Bảo trì đơn giản hóa rất nhiều
- Filament được loại bỏ: Không bị hư hại khi tiếp xúc với áp suất khí quyển
- Tín hiệu đầu ra điều khiển: 2 đầu ra điểm đặt
- Tín hiệu đầu ra: Đọc áp suất là đầu ra Nhật ký 0 đến 10V (đầu ra phi tuyến tính)
ỨNG DỤNG
Kiểm soát quá trình trong phạm vi áp suất của thiết bị chân không chính xác được sử dụng cho sản xuất chất bán dẫn, quang học và linh kiện điện tử
Kiểm soát quy trình trong phạm vi chân không sâu cho các thiết bị công nghiệp như lò nung
Kiểm soát quá trình trong phạm vi áp suất cho các hệ thống chân không có nhiều buồng xử lý, chẳng hạn như thiết bị xử lý phún xạ nội tuyến và thiết bị xử lý wafer đơn
BẢNG TIÊU CHUẨN
| Type | Sensor unit | ||
| Model | SC1 | ||
| Compatible sensor head | C-21、23、24、25 | ||
| Measurement pressure range | 1.0×10-5 to 1.0 Pa | ||
| 7.5×10-8 to 7.5×10-3 Torr | |||
| 1.0×10-7 to 1.0×10-2 mbar | |||
| Accuracy | ＋100%,－50%（1.0×10-4 to 1.0×10-1 Pa） | ||
| ＋100%,－50%（7.5×10-7 to 7.5×10-4 Torr） | |||
| ＋100%,－50%（1.0×10-6 to 1.0×10-3 mbar） | |||
| Measurement value output | Nonlinear output: 0 to 10VDC | ||
| Pressure setting adjustment monitor | Nonlinear output: 0 to 10VDC | ||
| Control input signal | HV ON/OFF | ||
| Control output signal | Open collector output, negative logic Confirmation of electrical dischargel / Setpoint actuating signal 1/2 | ||
| Control output signal | Open collector output, negative logic Confirmation of electrical dischargel / Setpoint actuating signal 1/2 | ||
| LED display | POWER, HV, PROTECT, SETPOINT1/2 | ||
| Operating temperature range | 10 to 40℃（50 to 104°F） | ||
| Operating humidity range | 15 to 80%（not condensing） | ||
| Power supply voltage | DC24V±2V, 150mA | ||
| Input/Output connector | D-sub-15pin（M2.6 screw） | ||
| Weight | 430g（Excluding sensor head） | ||
| Standard accessories | Input/Output connector 1pc | ||
| Quick manual 1pc |
* IO và GND tương tự không được cách ly khỏi GND nguồn.
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam