ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG PIRANI DÒNG SW1
Đồng hồ chân không pirani dòng SW1 phạm vi rộng, đo từ áp suất khí quyển đến 5 x 10-2 Pa. Ngoài ra, máy đo này loại bỏ các bảng điều khiển và hiển thị khỏi bộ điều khiển truyền thống, chỉ giữ lại các chức năng cần thiết tối thiểu, do đó tiết kiệm chi phí và không gian.
ĐẶC ĐIỂM
- Cho phép đo từ áp suất khí quyển đến 5 x 10-2 Pa.
- Kết hợp cảm biến và bộ điều khiển, do đó giảm cáp, tiết kiệm không gian và năng lượng.
- Hoạt động với đầu vào DC 24V
- Áp suất là 0 đến 10V đầu ra
- Xác minh lỗi LED để hiển thị tốt hơn
- Điều chỉnh áp suất khí quyển và điều chỉnh điểm 0 có thể được thực hiện bằng một lần chạm.
- Bộ phận cảm biến có thể được thay thế dễ dàng.
- Đầu ra 2 điểm đặt (SW1-1)
- Kết nối RS232C / RS485 (chỉ SW1-2)
- Tương ứng với CE
ỨNG DỤNG CỦA ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG PIRANI DÒNG SW1
- Kiểm soát quy trình trong các quy trình chân không thấp như đối với các hệ thống sản xuất bán dẫn, quang học và các bộ phận điện tử.
- Kiểm soát quy trình trong các quy trình có phạm vi chân không thấp cho các thiết bị công nghiệp như lò chân không, v.v.
- Kiểm soát quy trình cho hệ thống chân không thấp, đòi hỏi nhiều buồng xử lý, chẳng hạn như thiết bị xử lý phún xạ nội tuyến và thiết bị xử lý wafer đơn.
BẢNG TIÊU CHUẨN
| Model | SW1-1 | SW1-2 |
| Connectable sensor head | 1 pc | |
| Compatible sensor head | SWP-16（NW16）, SWP-25（NW25), SWP-R1/8（R1/8）, SWP-P18（φ18）, SWP-P15（φ15）, SWP-CF16（ICF034）, SWP-1S（ASME BPE sanitary 1″） | |
| Measurable pressure range | 5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa（Pa（表示範囲：1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa） | |
| Accuracy* | 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa ： ±10% | |
| 5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20% | ||
| Repeatability | 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2% | |
| Sampling time | 50ms 5回の移動平均処理 | |
| Value output | Output voltage DC 0 to 10V | |
| Pressure indication (Log) 1.7V to 8.0V 1V/decade | ||
| (Update time) 50ms | ||
| Control input signal | Open collector input, Negative logic | – |
| ADJ Adjustment (ZERO point, atmosphere adjust) | – | |
| Control output signal | Open collector output, negative logic [rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW] | – |
| Error signal | – | |
| Set point 1, 2 | – | |
| Monitor for setpoint | Set point 1, 2: 0 to 10V Log output | – |
| Serial communication type | – | RS232C/RS485 |
| LED display | POWER/ERROR: Power error LED | |
| SET-1: Set point 1LED | – | |
| SET-2: Set point 2LED | – | |
| Materal of filament | Pt | |
| Operating temperature range | 10 ~ 40℃ | |
| Operating humidity range | 15 ~ 80% (Not condensing) | |
| IP rating | IP30 (Sensor unit) | |
| Fixing position | Free | |
| Power supply voltage | DC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/power input) | |
| Input/output connector | D-sub 15-pin (M2.6mm screw) – side sensor unit | |
| Weight | 150g (with SWP-16) | |
| Dimension (Power supply) W×D×H | 70mm×46mm×28mm | |
| Standard accessories | Quick manual | |
| Option | Input/output conector (D-sub 15-socket (M2.6mm screw)), Inspection result data sheet, General calibration test report, JCSS caribration certificate | |
| Applicable standard | CE | |
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam