ULVAC

ulvac logo

HỆ THỐNG SPUTTERING DẠNG MẺ DÒNG SX

Hệ thống phún xạ chân không dòng SX
Hệ thống phún xạ kiểu mẻ SX là hệ thống phún xạ kiểu mẻ để nghiên cứu & phát triển và ứng dụng sản xuất nhỏ.

ĐẶC ĐIỂM

  • Tự động điều khiển bơm chân không và lắng đọng bằng PC
  • Được thiết kế cho ứng dụng phương pháp co-sputtering (mục tùy chọn bằng cách thêm nguồn điện)
  • Ghi dữ liệu bằng PC

ỨNG DỤNG

  • Nghiên cứu và phát triển
  • Sản xuất vừa và nhỏ