真空泵

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ULVAC 真空泵是基于在真空领域丰富的技术和经验开发的。除了油旋转真空泵之外，ULVAC 还提供适用于各种区域、条件和应用的干式真空泵系列，包括罗茨泵、隔膜泵和活塞泵。

干式真空泵

LS 系列

高抽速、低能耗的干式真空泵。LS系列可根据应用需求选择四种不同的抽速（120–1200 m³/h）。

LR/HR/UR 系列

ULVAC 独特的设计理念，利用干式真空泵体内部产生的热量，使 LR/HR/UR 系列即使在最严苛的工艺条件下也能稳定运行。

CR 系列

CR系列 Ver.B 干式真空泵是风冷型罗茨式干式真空泵，符合国际标准（CE、cTUVus）。

GR 系列

基于在 LR/HR 系列上的多年经验，ULVAC 推出了 GR 系列干式真空泵，具有简洁清洁的设计，适用于一般工业应用。

油旋转真空泵

VD/ VDN 系列

VD系列是由ULVAC自主开发的直驱式油旋转真空泵，配备高效（IE3）多电压电机。其双级旋片式机械结构可实现更低的极限真空度。

VS/VSN 系列

VS系列是一款单级旋片式油旋转真空泵，配备直驱电机。

PVD 系列

PVD系列是皮带驱动的紧凑型旋转真空泵，具有出色的抽气性能，广受ULVAC客户的使用与信赖。

PKS 系列

PKS系列是高耐用性的大型油旋转真空泵，具有非常稳定的抽气特性。广泛应用于金属、汽车、化工、制药和食品等多个行业。

VS650A/750A 系列

VS650A 和 VS750 是单级旋片式油旋转真空泵。其设计可实现低振动和低噪音，从而无需昂贵的设施改造。根据客户安装需求，提供风冷和水冷两种型号。

Oil Mist Trap

当油旋转真空泵在大气压下启动并在低真空条件下运行时，泵油会随排出的气体一起被排出。这种含油的排气雾由微小油滴组成，从泵的排气口看起来像“烟雾”。

机械增压泵

PRC 系列

与干式真空泵、油旋转真空泵或水封真空泵配合使用时，机械增压泵可在粗抽泵抽速下降的范围（10 kPa 到 0.1 Pa）内提高抽气速度。

PMB-D 系列

PMB系列 Ver.D 是广泛应用的机械增压泵，配备高效多电压电机。根据使用条件可采用风冷方式运行，并可选表面处理和常压运行类型作为选项。

PMB-C 系列

与干式真空泵、油旋转真空泵或水封真空泵配合使用时，机械增压泵可在粗抽泵抽速下降的范围（10 kPa 到 0.1 Pa）内提高抽气速度。

涡轮分子泵

UTM-FW/ FH 系列

UTM-FH 和 UTM-FW 是复合型涡轮分子泵，采用五轴磁悬浮技术与数字控制，实现高性能、高可靠性及节能优势。

UTM-MI 系列

集成控制器的涡轮分子泵采用磁悬浮轴承，可节省布线工作和安装空间。

UTM-B 系列

复合型涡轮分子泵采用陶瓷轴承，具有优异的压缩比。通过集成控制器实现紧凑设计。出色的高背压性能使得可搭配更小型的前级泵使用。

YTP 系列

YTP系列 Ver.B 是高真空抽气系统，配备陶瓷轴承的涡轮分子泵，可实现从大气压到高真空的抽气过程。

Desktop YTP 系列

YTP系列 Ver.B 是高真空抽气系统，配备陶瓷轴承的涡轮分子泵，可实现从大气压到高真空的抽气过程。

油扩散泵

PBL 系列

ULVAC 的油扩散喷射泵广泛应用于工业流程中，以提供高抽速。特别适用于冶金、塑料涂层和化工制造等领域，在这些工艺中需要快速抽除大量气体。

PFL 系列

PFL型油扩散泵是在我们丰富的研发与制造经验基础上设计和制造的。广泛应用于高真空生产设施，并因其卓越的实际性能而备受好评。

ULK 系列

ULK型油扩散泵是一款紧凑型高真空泵，具备高临界背压设计。广泛应用于从科研到生产线的各类场景。

离子泵

PST 系列

溅射离子泵是一种用于实现超高真空的泵，广泛应用于各类分析仪器和加速器。ULVAC 的 acter 泵专为开发新元素（acter 元素）而设计，在超高及极高真空条件下具备更优的抽气性能，并可优化磁场表现。

制冷泵

CRYO-U 系列

CRYO-U 系列是一款采用双级 GM 冷头的低温泵，具备高真空抽气能力。根据不同应用需求，提供从小型到大型的多种产品，适用于平板显示器（FPD）、半导体、电子设备、光学及研发等领域。

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