ULVAC Vietnam Representative Office
バッチ式スパッタリングシステム SXシリーズ
SXシリーズのバッチ型スパッタリングシステムは、研究開発および少量生産向けのバッチ式スパッタリング装置です。
特徴
PCによる真空排気および成膜プロセスの自動制御
コ・スパッタリング方式に対応（電源追加によるオプション対応）
PCによるプロセスデータの記録・管理
用途
- 研究開発
- 中小規模生産
ULVAC Vietnam Representative Office
PCによる真空排気および成膜プロセスの自動制御
コ・スパッタリング方式に対応（電源追加によるオプション対応）
PCによるプロセスデータの記録・管理
