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ULVAC Vietnam Representative Office

新闻与活动

半导体生产中的气体控制面临挑战?

在半导体制造过程中,溅射(Sputtering)、薄膜沉积(Thin-Film Deposition)以及使用反应性气体的工艺,都需要对真空环境进行严格控制。除了压力和温度之外,对气体成分、残余气体(Residual Gas)以及水分...

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什么是真空蒸镀?

真空蒸镀(Vacuum Evaporation)是一种物理气相沉积(PVD)技术,主要用于在晶圆及其他基材表面形成薄膜。该技术在真空环境下加热并使蒸发材料气化,随后材料原子或分子在真空腔体内移动并沉积到基材表面,形成均匀的薄膜。 凭借对薄膜厚度和薄膜特性的精确控制,真空蒸镀技术广泛应用于半导体制造、电子产品、显示器制造和光学镀膜等领域。...

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真空泵油雾过滤器会爆炸吗?

在油润滑真空泵系统中,油雾过滤器发挥着重要作用,可有效捕集油雾,减少油雾排放到工作环境中,并帮助真空泵保持稳定运行。 但是,如果真空泵油雾过滤器发生堵塞后仍继续运行,排气侧压力可能持续升高,严重时可能导致过滤器损坏甚至破裂。 1....

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【案例分享】ULVAC越南彻底解决GLD-N280真空泵电机烧毁与泵体卡死故障

在高科技涂层薄膜制造行业中,真空系统对于维持生产稳定运行起着至关重要的作用。即使是一个小小的真空系统故障,也可能导致整条生产线中断,并造成严重的停机损失和维修成本。 近期,ULVAC越南收到一家大型制造企业的紧急技术支持请求。客户使用的ULVAC GLD-N280油封式旋片真空泵在运行约12个月后发生严重故障。...

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Cooling Gas与真空热处理质量

在真空热处理工艺中,将材料加热到目标温度只是第一步。产品的最终质量在很大程度上取决于冷却阶段(Cooling)。与传统系统使用淬火油不同,现代真空热处理炉采用Cooling Gas(高压冷却气体)来快速、均匀且清洁地降低工件温度。 这项技术通常被称为气体淬火(Gas...

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真空热处理炉中的冷却水系统(Cooling Water):保护设备安全运行的关键保障

在工业真空炉系统中,根据不同工艺需求,如热处理、烧结、真空钎焊、渗碳以及先进材料加工,处理温度可达到800°C至2000°C以上。 当加热区处于超高温状态时,炉体外壳、炉门、真空系统以及各种辅助部件却必须保持在安全温度范围内。而这一重要任务正是由冷却水系统(Cooling Water)来完成。...

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ULVAC 真空炉在越南运行 6 年后的真实评测

在热处理与材料加工行业中,设备经过多年运行后的稳定性,一直是工厂最关注的核心因素之一。一个系统在刚安装时运行良好,并不足以证明其真正的品质。更重要的是,真空热处理炉在长期连续运行后,是否依然能够保持稳定性能、真空度以及温度控制能力。 在越南,许多从事精密机械、磁性材料、电子以及半导体制造的企业,已经选择采用 ULVAC...

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半导体前端制造工艺:科技奇迹开始的地方

在现代科技世界中,我们经常听到功能强大的半导体芯片。它们驱动着超级计算机、智能手机、人工智能以及自动驾驶汽车。然而,在一颗芯片真正完成之前,硅晶圆必须经历极其复杂的制造流程。这一过程被称为前端工艺(Front-End Process),也就是晶圆制造(Wafer Fabrication)。...

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经典错误:90%的工厂在选择真空阀时都犯了这个错误

在真空工程行业中,一个经典但仍然每天都在许多工厂发生的错误,就是将普通气动阀用于真空系统,或者为生产工艺选择了错误等级的真空阀(低真空、中真空、高真空)。 很多人认为:“阀门不都一样吗?只要能开关管道就可以了。” 然而,这种想法非常危险。正压气体(压缩空气)与负压环境(真空)在物理特性上完全不同。...

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引领半导体微缩趋势:金属硬掩膜(MHM)沉积技术

在高科技时代,半导体器件尺寸的不断缩小已成为提升计算性能并降低智能电子设备能耗的核心因素。因此,先进薄膜技术在现代晶圆制造中正发挥着越来越关键的作用。 作为全球真空与薄膜技术领域的领先企业,ULVAC持续通过先进沉积解决方案支持半导体产业的发展。尤其是金属硬掩膜(MHM –...

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廉价真空炉”正在吞噬企业利润

许多热处理企业正在陷入一种“虚假的节省”陷阱:为了降低初期投资成本,而选择来源不明、缺乏本地技术支持的廉价真空炉。 起初,设备采购成本看似较低。然而,从长期来看,企业往往需要为设备停机(downtime)、维修费用以及产品不良付出更高代价。 近期,我们有机会协助一家客户。该客户使用的一套真空炉系统虽然仅于2021年制造,但已经出现一系列严重故障,最终导致整条生产线完全停产。...

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真空炉温度均匀性:质量的金钥匙

在真空热处理技术中,仅达到低压是不够的。为了使产品获得均匀的机械性能和高精度,真空炉内的温度均匀性(Temperature Uniformity)起着决定性作用。因此,在爱发科(ULVAC),这被视为评价电炉系统性能的生死标准。 1....

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切勿让真空泵因缺乏滤油而“丧命”!

在真空泵系统中,滤油器绝非可有可无的配件。相反,它是保护内部昂贵精密机械零件的“守门员”。一旦这道防线被击穿或油液遭到污染,后果通常是旋片(Vanes)和转子(Rotor)的毁灭性损坏。 1. 技术分析:为何缺少过滤器和油污会导致旋片“致命伤”?...

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氦气检漏设备你可能不知道的3件事

Leak test(氦气检漏)是目前工业领域中检测微小泄漏最先进的方法之一。 由于氦气具有极小的分子尺寸和惰性特性,它能够轻松通过其他气体无法检测的微小孔隙。因此,氦气检漏设备(Helium...

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气体泄漏检测技术

在现代制造业中,即使是肉眼无法察觉的微小泄漏,也可能带来严重后果——从电子元件失效、燃料系统安全隐患,到空调设备使用寿命降低等问题。 在 ULVAC...

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告别真空泄漏,守护工厂利润!

您可以不断优化设备,投入全新的系统…… 但如果您不进行定期的真空检漏,那么每天可能都在不知不觉中让资金从真空系统中流失。 真空泄漏——虽小,却致命!...

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