ULVAC Vietnam Representative Office
SP1シリーズ ピラニ真空計
SP1シリーズ ピラニ真空計は、WPシリーズセンサーと回路を一体化したピラニ真空計で、3,000～0.4Pa（22～3×10⁻³Torr／3～4×10⁻³mbar）の圧力範囲を測定できます。
特長
- 表示器が不要な場合：
・真空計に関連するコストを削減できます。
・制御盤の小型化により、省スペース化を実現できます。 - センサー交換が大幅に簡素化されています。
- 耐腐食性プラチナフィラメントを採用しています。
- 既存のセンサーヘッドを改造せずに使用可能です。
（SP1：WP-01、02、03、16） - 2点の設定値出力が可能です。
- SP1：圧力読み取り値を0～5V出力（非線形）で出力可能です。
- 24VDC電源入力で動作可能です。
SP1シリーズ ピラニ真空計の用途
- 半導体、光学部品、電子部品の製造装置などの深真空領域におけるプロセス制御
- 真空炉などの産業用装置における深真空領域でのプロセス制御
- インラインスパッタ装置や枚葉式ウェーハ処理装置など、多室型真空システムにおける深真空領域でのプロセス制御.
仕様
| Type | Sensor unit |
| Model | SP1 |
| Compatible sensor head | WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 |
Accuracy | ±15 %（51 Pa ～760 Pa） |
| ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） | |
| ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） | |
| Operating temperature range | 10 ~ 40℃ |
| Measurement value output | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
| Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitor | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
| Control output signal | Open collector output, Negative logic |
| ERROR signal | |
| Setpoint 1/2 | |
| LED display | Power, error, set point 1, set point 2 |
| Power supply voltage | DC24V±2V, 90mA（Max.） |
| Input/Output connector | D-sub-15P（M2.6 screw） |
| Weight | 190g /0.41lb (Excluding sensor head) |
Standard accessories | Input/Output connector 1pc |
| Quick manual 1pc |
IOおよびGNDは、電源GNDから絶縁されていません。
