ULVAC Vietnam Representative Office
横型スパッタリングシステム SCHシリーズ
SCHシリーズは、透明導電膜や各種金属膜の成膜に対応した横型スパッタリングシステムです。太陽電池の製造ラインにおいて、バックコンタクト層やバリア層などの成膜用途に適用できます。
特長
- 量産ラインで実証された高い信頼性。
- 基板サイズおよび処理枚数に柔軟に対応。
- 高成膜速度と高性能カソードを採用。
- Depo-down／Depo-up方式、およびDC／AC／RFスパッタリングなど、多様な成膜方式に対応。
- 保守・メンテナンスが容易。
用途
- 透明導電膜、バックコンタクト層、シード層、太陽電池用バッファ層
