MÁY CẤY ION NHIỆT ĐỘ CAO CHO SIC IH-860DSIC

Home / Sản phẩm / Thiết bị chân không / HỆ THỐNG CẤY ION / MÁY CẤY ION NHIỆT ĐỘ CAO CHO SIC IH-860DSIC

Máy cấy ion nhiệt độ cao cho SIC IH-860DSIC của ULVAC để sản xuất hàng loạt với ESC nhiệt độ cao cho SiC, áp dụng ở nhiều lĩnh vực.

ĐẶC ĐIỂM

Cấy nhiệt độ cao liên tục
Lên đến 700keV
Cấy chuỗi bằng phần mềm
Dấu chân nhỏ
Từ R & D đến sản xuất hàng loạt

applications

Thiết bị SiC