HỆ THỐNG PHÚN XẠ KIM LOẠI MẶT SAU DÒNG SRH
SRH Series là hệ thống sản xuất mạ màng kim loại cho thiết bị điện, WL-CSP hoặc UBM hoặc ứng dụng tương tự.
ĐẶC ĐIỂM
- Kích thước bề mặt áp dụng: Φ125 đến 200mm.
- Có khả năng tự động truyền cho tấm Si siêu mỏng có độ dày lên đến 50μm.
- Lên đến 5 công thức chế biến độc đáo.
- Quá trình Sputter-Etching do ISM phát triển.
- Có sẵn cơ chế làm mát nước hiệu quả bằng phương pháp ESC.
ỨNG DỤNG
- Thiết bị điện
- WL-CSP (lớp mạ điện phân)
- UBM (Kim loại chắn)
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam