HỆ THỐNG PHÚN XẠ KIM LOẠI MẶT SAU DÒNG SRH

Home / Sản phẩm / Thiết bị chân không / Hệ thống phún xạ chân không / HỆ THỐNG PHÚN XẠ KIM LOẠI MẶT SAU DÒNG SRH

SRH Series là hệ thống sản xuất mạ màng kim loại cho thiết bị điện, WL-CSP hoặc UBM hoặc ứng dụng tương tự.

ĐẶC ĐIỂM

Kích thước bề mặt áp dụng: Φ125 đến 200mm.
Có khả năng tự động truyền cho tấm Si siêu mỏng có độ dày lên đến 50μm.
Lên đến 5 công thức chế biến độc đáo.
Quá trình Sputter-Etching do ISM phát triển.
Có sẵn cơ chế làm mát nước hiệu quả bằng phương pháp ESC.

ỨNG DỤNG

Thiết bị điện
WL-CSP (lớp mạ điện phân)
UBM (Kim loại chắn)