> Hệ thống mạ CVD

Hệ thống Plasma-CVD kiểu khoá tải CC-200/400

JRDAYK041848

CC-200/400 là một hệ thống nhỏ gọn và dễ dàng sử dụng cho R&D và sản xuất.

 

Các tính năng
§ Quy trình plasma mật độ cao trên 27.12MHz

§ Hỗ trợ lắng đọng SiH4 (SiO2, SiNx, SiON, a-Si ) và TEOS (SiO2).

§ Hỗ trợ làm sạch buồng bằng plasma CF4+O2.

§ Hỗ trợ bộ gia nhiệt cho sự lắng đọng nhiệt độ thấp của EL hữu cơ.

§ Hỗ trợ nhiều cỡ lớp nền.

§ Xử lý trình tự gián tiếp chân không trong phạm vi dòng sản phẩm C (Phun: CS-200, Bay hơi: CV-200).

§ Hệ điều khiển tự động cho bơm chân không và sự lắng đọng bằng máy tính

§ Được thiết kế để áp dụng phương pháp cùng phun (chọn thêm hạng mục chọn thêm hạng mục bằng cách bổ sung nguồn điện)

§ Ghi dữ liệu bằng máy tính

 

Ứng dụng

§ Các thiết bị phát điện

§ Các thiết bị liên quan đến hợp LED, LD và caospeed các thiết bị

§ Hệ thống EL hữu cơ cho sử dụng R&D

§ Hệ thống pin mặt trời cho sử dụng R&D

§ MEMS

SẢN PHẨM KHÁC
NGZEFT041018 Hệ thống kiểu cụm PE-CVD CME-200E/400

Xuất xứ: Nhật bản

GIỚI THIỆU
gioi thieu cong ty ULVAC Việt Nam là Văn phòng đại diện của CÔNG TY TNHH ULVAC SINGAPORE PTE.
http://www.ulvac.com.sg/ 
logo1
logo2
SẢN PHẨM NỔI BẬT
dong san pham bom chan khong quay dau vd 240 den 1800 lit phut Dòng sản phẩm Bơm chân không quay dầu VD (240 đến 1800 lít/phút)
lo xu ly nhiet chan khong kieu me fhb 60c Lò xử lý nhiệt chân không kiểu mẻ FHB-60C
TIN TỨC
Tin công ty Tin tuyển dụng
TRIỂN LÃM QUỐC TẾ MTA VIETNAM 2019
THAY ĐỔI ĐỊA CHỈ VĂN PHÒNG
Sớm bắt đầu bán“MILA-700AR”, hệ thống đèn luyện kim mini, không sử dụng nước làm mát
ULVAC được trao tặng giải thưởng First Kanagawa Award cho hoạt động ngăn chặn sự nóng lên toàn cầu trong hạng mục phát triển công nghệ giảm khí thải n
Trang chủ    |    Giới thiệu     |    Sản phẩm    |    Dịch vụ    |    Tin tức     |    Liên hệ
© 2019 Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam . Designed & Developed by EMSVN
Đang online: 8
Lượt truy cập: 32587406