Thiết bị bán dẫn > Hệ thống phun nhiều buồng MLXTM-3000N

Hệ thống phun nhiều buồng MLXTM-3000N

multi chamber sputtering system mlxtm 3000n

MLXTM-3000N đáp ứng các yêu cầu xử lý phức tạp của khách hàng theo tính đa dạng xử lý cao, khả năng xử lý điều khiển cao, và hiệu suất chi phí cao.

Các tính năng
§ Lớp nền cỡ: 3 to 8 inch (75 đến 200mm)
§ Hệ điều khiển chất lượng màng chính xác sẵn có với hệ điều khiển thông số chính xác trong môi trường không có ô nhiễm
§ Khả năng xử lý rất cao như rót nhôm, màng dầy, màng xếp,....


Ứng dụng
§ Kim loại hoá cho các thiết bị chất bán dẫn như Thiết bị điện....


Quy cách kỹ thuật

Quy cách kỹ thuật

MLXTM-3000N

Cấu hình

Hệ thống chuyển đổi

 môđun chuyển đổi 6 mặt x 1

Môđun

Môđun nạp/xả: 2 môđun (or 1 môđun và 1 khử khí)

Quy trình môđun: TốI ĐA 4 môđuns

Cỡ lớp nền

75mm - 200mm đường kính (3 to 8 inch)

Robot chuyển đổi

Robot chuyển đổi chân không với bộ gắp kép

Hệ điều khiển hệ thống

Hệ thống điều khiển máy tính

Ứng dụng

UBM, Back Side, GaAs, Thiết bị SAW, Thiết bị điện, các lớp nền có hình dạng không tiêu chuẩn

Các hệ thống bơm

Bơm chính

Môđun nạp/xả : Bơm khô

Môđun chuyển đổi: TMP

Môđun xử lý: Cryo Máy bơm

Bơm nối thô

Bơm khô

Dây chuyền khí xử lý

Tối đa 3 dây chuyền

Áp lực cao nhất

Chuyển đổi: 1.3 x 10E-4Pa (1.0 x 10E-6Torr)

Môđun xử lý: 1.0 x 10E-5Pa 7.5 x 10E-8Torr

Điện

50Hz/60Hz, 3Pha, AC 200V

Nước làm mát

0.2 - 0.3MPa, Nhiệt độ 20 - 25ºC, 100Lít/phút

Khí

Quy trình khí: 0.05 - 0.1MPa (phụ thuộc vào các loại khí khác nhau)

Nitơ : 0.05 - 0.1MPa

Khí nén

0.55 - 0.75MPa

Tiếp đất

Loại A (Loại 1) Đường tiếp đất (10 ohm trở xuống)

Chọn thêm

Lớp nền 3" đến 8" (đường kính 75mm đến 200mm) có sẵn

Cơ cấu đóng

Mâm cặp điện tĩnh

RGA: Qulee

Môđun khoá tải (chọn thêm TMP có sẵn)

GIỚI THIỆU
gioi thieu cong ty ULVAC Việt Nam là Văn phòng đại diện của CÔNG TY TNHH ULVAC SINGAPORE PTE.
http://www.ulvac.com.sg/ 
logo1
logo2
SẢN PHẨM NỔI BẬT
dong san pham bom chan khong quay dau vd 240 den 1800 lit phut Dòng sản phẩm Bơm chân không quay dầu VD (240 đến 1800 lít/phút)
lo xu ly nhiet chan khong kieu me fhb 60c Lò xử lý nhiệt chân không kiểu mẻ FHB-60C
TIN TỨC
Tin công ty Tin tuyển dụng
TRIỂN LÃM METALEX VIỆT NAM 2017
THAY ĐỔI ĐỊA CHỈ VĂN PHÒNG
TRIỂN LÃM VME VIETNAM MANUFACTURING EXPO 2017
TRIỂN LÃM PROPAK VIỆT NAM 2017
Sớm bắt đầu bán“MILA-700AR”, hệ thống đèn luyện kim mini, không sử dụng nước làm mát
Trang chủ    |    Giới thiệu     |    Sản phẩm    |    Dịch vụ    |    Tin tức     |    Liên hệ
© 2017 Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam . Designed & Developed by EMSVN
Đang online: 10
Lượt truy cập: 637344