ULVAC Vietnam Representative Office
研究・開発用コンパクトスパッタリング装置 CS-L
大気カセット式、一枚搬送式、大気搬送式、真空搬送式など、多様なモジュール構成に対応可能です。制御ユニットを一体化したコンパクト設計を採用しています。
特長
- CS-Lは、さまざまな研究開発用途に対応します。スパッタ成膜、超高真空、および基板搬送をタッチパネルで一元的に制御できます。
用途
- 研究・開発
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