ULVAC

Thiết bị chân không

Công nghệ nền tảng của ULVAC với công nghệ chân không cốt lõi và các công nghệ ngoại vi liên quan đã được kết hợp qua nhiều năm R&D và cải tiến trong công nghệ sản xuất, cho phép chúng tôi hiện nay cung cấp rất nhiều loại thiết bị sản xuất công nghiệp cho chất bán dẫn, bộ phận điện tử, FPD, pin mặt trời và nhiều lĩnh vực khác.

Hệ thống xử lý nhiệt

ULVAC cung cấp các lò chân không (để nấu chảy, xử lý nhiệt và CVD) được sử dụng trong các lĩnh vực công nghiệp nói chung và lĩnh vực thiết bị bán dẫn / điện tử.

Hệ thống xi mạ chân không

Thiết bị này, sử dụng cơ chế mở cửa đôi theo chiều dọc, được áp dụng để phủ màng kim loại Nhôm và màng bảo vệ SIOx bên trên tạo phản xạ cho các bộ phận chiếu sáng và trang trí ô tô. Thực hiện xi mạ kim loại nhôm trên vật liệu kim loại, nhựa PC, BMC, ABS…

May nạp Gas Lạnh

Máy sạc là một giải pháp hoàn hảo cho độ chính xác cao và tốc độ sạc nhanh, tích hợp nhiều công nghệ tiên tiến và hiện đại.

May kiểm tra rò rỉ

ULVAC cung cấp các thiết bị phát hiện rò rỉ không chỉ để kiểm tra rò rỉ cho hệ thống chân không mà còn cho các ứng dụng khác, từ phát hiện rò rỉ trong đóng gói đến  những ứng dụng rò rỉ đặc biệt khác.

Hệ thống xi mạ màng cuộn chân không

Lớp phủ cuộn có sẵn cho nhiều ứng dụng khác nhau, từ lớp phủ chỉ vàng/bạc đến lớp phủ ba chiều để chống hàng giả và lớp phủ bề mặt linh hoạt bổ sung.

Hệ thống chưng cất chân không

Hệ thống chưng cất chân không, cho phép chưng cất vật liệu nhạy cảm với nhiệt (các chất phân hủy nhiệt/polymers) trong chân không ở nhiệt độ thấp và trong thời gian ngắn.

Hệ thống sấy lạnh chân không / hệ thống sấy khô chân không

Hệ thống làm sấy lạnh chân không / Hệ thống sấy chân không cho sản xuất và nghiên cứu khối lượng thấp của ngành dược phẩm yêu cầu thiết kế tiết kiệm không gian, chi phí thấp và chức năng cao. ULVAC đã phát hành Dòng DFM để đáp ứng những nhu cầu này.

Hệ thống làm lạnh chân không

Việc áp dụng công nghệ làm lạnh chân không đã gây ra một cuộc cách mạng trong hệ thống phân phối dây chuyền lạnh rau xanh. Vào mùa hè, rau có xu hướng hư hỏng rất nhanh sau khi thu hoạch từ ruộng về dưới nhiệt độ cao.

Hệ thống phún xạ chân không

Hệ thống phún xạ của ULVAC có thành tích tốt nhất trong ngành công nghiệp.

Hệ thống Ashing

ULVAC cung cấp các công nghệ thân thiện với môi trường (không cần giải pháp), năng suất cao để loại bỏ điện trở, điều cần thiết trong quy trình sản xuất các thiết bị điện tử và bán dẫn.

Hệ thống Etching

ULVAC cung cấp các hệ thống khắc để đáp ứng mọi nhu cầu về vật liệu khó khắc, từ những vật liệu dành cho bộ nhớ không bay hơi mới đến chất bán dẫn phức hợp.

Hệ thống CVD

ULVAC cung cấp các hệ thống lắng đọng hơi hóa chất kiểu cụm và kiểu lô, đồng thời cung cấp thêm các hệ thống được thiết kế đặc biệt để phát triển, từ hệ thống PE-CVD cần thiết cho lắng đọng màng a-Si và thụ động đến hệ thống CVD kim loại và CVD nhiệt.

Hệ thống cấy ion

Chuỗi hệ thống cấy ion hiệu suất cao cho các thiết bị bán dẫn