イオン注入装置

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SOPHI-30シリーズ

SOPHI-30は、質量分離器を搭載しない高密度・低加速型のクラスタタイプイオン注入装置であり、薄型ウエハにも対応しています。

SOPHI-200/260シリーズは、中量生産向けイオン注入装置をベースに、装置メーカーとして培った豊富な経験を活かし、不要な仕様を削減した最適化モデルです。その結果、コスト効率の向上により、低価格でありながらパラレルスキャン機能を備えたイオン注入システムを提供します

SOPHI-400は、2,400keVに対応したクラスタ型高エネルギーイオン注入装置です。

SiC向け高温ESCを搭載した量産用イオン注入装置です。

29/11/100 Le Duc Tho Street, An Nhon Ward, Ho Chi Minh City, Vietnam

5/5/42 Thanh Binh Street, Le Thanh Nghi Ward, Hai Phong City, Vietnam