ULVAC Vietnam Representative Office
CVD 시스템
ULGLAZE 시리즈
ULGLAZE 시리즈는 모노머와 O₂를 사용하여 폴리카보네이트(PC)에 내스크래치성 및 내마모성 코팅을 증착하는 ETP-CVD(Extended Thermal Plasma CVD) 시스템입니다.
CMD 시리즈
CMD 시리즈는 SiH₄ 또는 TEOS를 사용하여 실리콘 산화막 및 질화막을 증착하는 단일 웨이퍼형 CVD 시스템입니다. 27.12 MHz 고주파 전원을 적용하여 고품질 박막 증착이 가능합니다.
CN-CVD-400 시리즈
ULVAC은 세계 최초로 기판 위에 탄소나노튜브(CNT)를 수직 방향으로 선택적으로 성장시키는 기술을 개발했습니다. 마이크로파 플라즈마 CVD 기술을 활용하여 고순도 탄소나노튜브의 양산에 성공했으며, 연료전지 및 수소 저장을 비롯한 다양한 분야에서 성능의 획기적인 향상이 기대됩니다.
Gemini-200,300 시리즈
Gemini는 하나의 트랜스퍼 코어에 다양한 공정 모듈을 탑재하여, 가능한 한 공통 부품을 사용함으로써 예비 부품을 최소화하고 모듈 간 동일한 제어 패널을 사용하여 사용 편의성을 향상시킨 시스템입니다. 이를 통해 첨단 전자 소자 생산 공정의 효율성을 더욱 향상시킬 수 있습니다.
