ULVAC

ulvac logo

HỆ THỐNG CẤY ION

Dòng SOPHI-30 HỆ THỐNG CẤY ION

Dòng SOPHI-30

SOPHI-30 là máy cấy ion mật độ cao và gia tốc thấp kiểu cụm, không có bộ tách khối và hỗ trợ các tấm mỏng.

SOPHI-200-260 HỆ THỐNG CẤY ION

Dòng SOPHI-200/260

Dòng SOPHI-200/260 về cơ bản kế thừa thiết bị cấy ion mô hình sản xuất trung bình hiện tại và loại bỏ thông số kỹ thuật dựa trên kinh nghiệm đủ của chúng tôi với tư cách là nhà cung cấp công cụ. Do đó, nhờ vào việc giảm chi phí hiệu quả, chúng tôi có thể đưa ra mức giá bán không đắt với khả năng quét song song.

SOPHI-400 HỆ THỐNG CẤY ION

Dòng SOPHI-400

SOPHI-400 là kiểu cụm, bộ cấy ion năng lượng cao áp dụng cho 2400 keV.

IH-860DSIC HỆ THỐNG CẤY ION

Máy cấy ion để sản xuất hàng loạt với ESC nhiệt độ cao cho SiC.