ULVAC Vietnam Representative Office
진공 스퍼터링 시스템
ULDiS 시리즈
ULDIS 시리즈는 MetaMode® 기술을 적용한 디지털 스퍼터링 시스템으로, 고품질 광학 필터 및 광학 코팅을 구현합니다. ULVAC은 미국 JDS Uniphase Corporation과 광학 응용 분야를 위한 MetaMode® 스퍼터 기술 라이선스 계약을 체결했습니다.
ULDIS는 기업의 생산 현장에 설치하여 다양한 광학 코팅 및 관련 제품 개발·생산에 폭넓게 활용할 수 있습니다.
ACS-4000
PC 자동 운전 방식을 적용한 소형 스퍼터링 시스템으로, 다층 박막, 화합물 소재 및 다양한 소자의 연구·개발에 적합합니다. 또한 기존보다 **대형 기판(직경 4인치)**을 처리할 수 있도록 설계되었습니다.
CS-L
다양한 모듈 조합으로 구성할 수 있으며, 대기압 카세트, 싱글 웨이퍼, 대기압 이송, 진공 이송 모듈을 선택하여 구성할 수 있습니다. 또한 컨트롤러가 통합된 컴팩트한 설계를 적용했습니다.
uGmni-200, 300
uGmni는 하나의 이송 코어에 다양한 공정 모듈을 탑재할 수 있는 시스템으로, 가능한 한 동일한 공통 부품을 활용하여 교체 부품을 최소화하고, 여러 모듈에서 동일한 제어 패널을 사용할 수 있도록 하여 사용 편의성을 향상시켰습니다. 이를 통해 첨단 전자 소자 생산 공정의 효율성을 더욱 향상시킬 수 있습니다.
SMD 시리즈
SMD 시리즈는 금속막 및 ITO막 등의 박막 증착을 위한 단일 기판용 스퍼터링 시스템입니다. ULVAC은 다양한 생산 환경에 적용할 수 있도록 다수의 SMD 시리즈 시스템을 공급해 왔습니다. 또한 실제 생산 현장의 피드백을 신속하게 반영하여 장비의 신뢰성과 성능을 지속적으로 향상시키고 있습니다.
SCH 시리즈
SCH 시리즈는 투명 도전막 및 기타 금속막 증착을 위한 수평형 스퍼터링 시스템입니다. 태양전지 생산 라인에서 백시트층 및 배리어층 등의 박막 증착에 사용할 수 있습니다.
SPW 시리즈
SPW 시리즈는 플라스틱 필름 위에 광학 박막 및 금속 다층막 등을 증착할 수 있는 장비입니다. 또한 가스 분위기 분리 기능을 통해 고기능성 다층 필름의 연속 처리가 가능합니다.
