Hệ thống phún xạ chân không
Dòng SV
Hệ thống phun kiểu lô dọc. Các mô hình dòng bao gồm mô hình máy dập đĩa SV-200 và các loại băng chuyền để xử lý chất nền khối lượng lớn.
Dòng SX
Hệ thống phún xạ kiểu loạt SX là hệ thống phún xạ kiểu lô để nghiên cứu & phát triển và ứng dụng sản xuất nhỏ.
ENTRONTM-EX W300
ENTRONTM-EX cho phép kết hợp nhiều quy trình hiện đại khác nhau như PVD, CVD, ALD và nhận ra quy trình In-Situ đơn giản và mạnh mẽ.
MLXTM-3000N đáp ứng các yêu cầu phức tạp của khách hàng nhờ tính linh hoạt của quy trình và khả năng kiểm soát vượt trội cũng như hiệu suất chi phí tuyệt vời.
Dòng ULDiS
Dòng ULDIS là hệ thống phún xạ kỹ thuật số đã nâng cao chế độ Meta và hiện thực hóa các bộ lọc và lớp phủ quang học chất lượng cao. ULVAC đã ký thỏa thuận cấp phép với Tập đoàn JDS Uniphase của Hoa Kỳ; Giấy phép MetaMode® sputter cho ứng dụng quang học. ULDIS có sẵn để đặt tại doanh nghiệp của bạn và phát triển rộng rãi.
Dòng SRH
SRH Series là hệ thống sản xuất mạ màng kim loại cho thiết bị điện, WL-CSP hoặc UBM hoặc ứng dụng tương tự.
SME-200E
SME-200E là hệ thống phún xạ kiểu cụm cho mục đích nghiên cứu và phát triển và sản xuất.
CS-200
Hệ thống phún xạ loại khóa tải CS 200 dành cho nghiên cứu & phát triển và ứng dụng sản xuất nhỏ
ACS-4000
Hệ thống phún xạ nhỏ gọn có sẵn để nghiên cứu và phát triển màng mỏng nhiều lớp, vật liệu hợp chất hoặc các thiết bị khác, sử dụng quy trình vận hành tự động bằng PC. Ngoài ra, hệ thống có kích thước lớn hơn (đường kính 4 inch) hơn bao giờ hết.
CS-L
Có thể sắp xếp cho các tổ hợp mô-đun khác nhau; Cassette khí quyển, Một mảnh, Truyền khí quyển, Truyền chân không. Thiết kế nhỏ gọn tích hợp bộ điều khiển.
uGmni-200, 300
uGmni là trang bị nhiều mô-đun quy trình khác nhau trên cùng một lõi chuyển, giúp giảm thiểu phụ tùng thay thế bằng cách sử dụng các bộ phận chung giống nhau nhiều nhất có thể cũng như cải thiện khả năng sử dụng với cùng một bảng điều khiển giữa các mô-đun khác nhau này. Điều này cải thiện hiệu quả hơn nữa cho quá trình sản xuất thiết bị điện tử tiên tiến.
Dòng SMD
Dòng SMD là các hệ thống phún xạ đơn đế để lắng đọng các màng như màng kim loại và màng ITO. ULVAC đã cung cấp một số lượng lớn các hệ thống này, để sử dụng trong nhiều môi trường sản xuất. ULVAC phản hồi nhanh chóng các phản hồi từ các địa điểm sản xuất để nâng cao độ tin cậy của các mô hình này.
Dòng SCH
Dòng SCH là hệ thống phún xạ dòng nằm ngang để lắng đọng các màng dẫn điện trong suốt và các màng kim loại khác. Chúng có thể được sử dụng để lắng đọng các màng như lớp đệm lưng và lớp chắn trong dây chuyền sản xuất pin mặt trời.
Dòng SPW
Dòng SPW là một thiết bị có thể được rải màng mỏng quang học và màng nhiều lớp kim loại, v.v. trên màng nhựa. Bộ chia tách khí để xử lý hàng loạt các màng nhiều lớp chức năng cao.
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam